特許
J-GLOBAL ID：200903020438241210
暗視野照明装置および暗視野照明方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
山口 孝雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-115647
公開番号（公開出願番号）：特開2000-019412
出願日： 1999年04月23日
公開日（公表日）： 2000年01月21日
要約：
【要約】【課題】 十分な明るさを有し且つ明るさのムラが良好に抑制された暗視野照明を行うことのできる暗視野照明装置。【解決手段】 光源(1)からの光束を環状の断面を有するほぼ平行な光束に整形するための整形系(2〜7)と、このほぼ平行な光束に基づいて射出面の近傍において環状に並んだ複数の光源像を形成するためのフライアイ光学素子(9)と、複数の光源像からの光束を集光して物体面(11)上で重ね合わせるための集光光学系(10)とを備えている。
請求項（抜粋）：
照明光を供給するための光源と、前記光源からの光束を環状の断面を有するほぼ平行な光束に整形するための整形系と、複数のレンズエレメントを有し、該複数のレンズエレメントの入射面に入射した前記環状の断面を有するほぼ平行な光束に基づいて、前記複数のレンズエレメントの射出面の近傍において環状に並んだ複数の光源像を形成するためのフライアイ光学素子と、前記フライアイ光学素子の射出面の近傍に形成された前記複数の光源像からの光束を集光して物体面上で重ね合わせるための集光光学系とを備えていることを特徴とする暗視野照明装置。
引用特許：
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