特許
J-GLOBAL ID：200903020458576730
非球面レンズ成形型の製造方法およびその方法により製造された非球面レンズアレイ成形型並びに非球面レンズアレイ
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
大野 精市
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-087039
公開番号（公開出願番号）：特開2003-276030
出願日： 2002年03月26日
公開日（公表日）： 2003年09月30日
要約：
【要約】【課題】 非球面レンズ成形型の製造方法およびその方法により製造された非球面レンズアレイ成形型並びに非球面レンズアレイを提供する。【解決手段】 (a)に示すように、石英ガラス基板1よりもエッチング速度が速い層2を形成し、円形の開口を有するマスク3を形成する。フッ酸水溶液でエッチングを行い、石英ガラス基板1までエッチングが進行した後は、(c)に示すように、石英ガラス基板1では層2とは異方性のエッチングが進行する。マスク3を除去し、再度フッ酸水溶液で少なくとも層2が完全に除去されるまでエッチングを行うことにより、(e)に示すように、非球面形状を有する凹部1Aを石英ガラス基板1に形成できるので、これを非球面レンズ成形型として用いる。
請求項（抜粋）：
基板表面に基板とはエッチング速度の異なる均質な層を形成する工程と、前記層の上に開口形状を有するマスクを形成する工程と、前記層および前記基板を前記マスクを介してエッチングする工程と、前記マスクを除去する工程と、少なくとも前記層が除去されるまで再度エッチングし、凹部を形成する工程と、からなることを特徴とする非球面レンズ成形型の製造方法。
IPC (4件)：
B29C 33/38
, G02B 3/00
, G02B 3/02
, B29L 11:00
B29C 33/38
, G02B 3/00 A
, G02B 3/02
, B29L 11:00
4F202AH74
, 4F202AH75
, 4F202AJ09
, 4F202CA30
, 4F202CD06
, 4F202CD24
, 4F202CK11
