特許
J-GLOBAL ID：200903020492865938

全方位型半導体加速度センサ及びその製造方法

発明者：
石王 誠一郎

石王 誠一郎 について


出願人/特許権者：
株式会社デンソー

株式会社デンソー について


代理人 (1件)： 恩田 博宣
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-118821
公開番号（公開出願番号）：特開平11-311636
出願日： 1998年04月28日
公開日（公表日）： 1999年11月09日
要約：
【要約】【課題】可動部材が自重により垂下するのを防止することができる全方位型半導体加速度センサ及びその製造方法を提供する。【解決手段】シリコン基板よりなる可動部材12の下面での重心位置にアンカー用突起13が設けられている。シリコン基板よりなる固定部材11の上に可動部材12が、可動部材12の重心位置にて揺動可能に支持されている。可動部材12の下面と固定部材11の上面に対向してアンカー用突起13を中心とした所定角度毎に対向電極18,19が多数配置されている。固定部材11の表面に平行なX方向に加速度が加わると、可動部材12が揺動して、アンカー用突起13を中心とした所定角度毎の対向電極18,19を用いて検出される。
請求項（抜粋）：
半導体基板よりなる固定部材と、半導体基板よりなり、前記固定部材の上に配置される可動部材と、前記可動部材の下面または固定部材の上面の少なくともいずれか一方に形成され、前記固定部材の上に前記可動部材を可動部材の重心位置にて揺動可能に支持するアンカー用突起と、前記可動部材の下面と前記固定部材の上面の間に対向した状態で、固定部材の表面に平行な面において前記アンカー用突起を中心として所定角度毎に多数配置され、固定部材の表面に平行な方向に加わる加速度を検出するための対向電極と、を備えたことを特徴とする全方位型半導体加速度センサ。
IPC (6件)：
G01P 15/135 ,  B60R 21/32 ,  G01P 15/00 ,  G01P 15/125 ,  G01P 15/13 ,  H01H 35/14
FI (6件)：
G01P 15/135 ,  B60R 21/32 ,  G01P 15/00 D ,  G01P 15/125 ,  G01P 15/13 ,  H01H 35/14 Z
引用特許：
審査官引用 (3件)

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