基板処理装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴江武彦 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-254654
公開番号（公開出願番号）：特開平10-107129
出願日： 1996年09月26日
公開日（公表日）： 1998年04月24日
要約：

【要約】【課題】交換などのメンテナンスを容易に行え、かつ薬液などに腐食されない係止ピンを有する基板処理装置を提供すること。【解決手段】回転体上部で基板28を保持して回転処理を行う基板処理装置において、回転体に立設され、上端面に第1の挿入孔26が軸方向に沿って形成され、これと交差する第2の挿入孔27が径方向に沿って形成された支持部25と、基板28の下面を支持する支持ピン33と、第1の挿入孔26に挿入されて基板28の外周を係止する係止ピン29と、第2の挿入孔27に挿入され係止ピン29と係合して係止ピン29の抜け出しを防止する固定ピン30と、を具備したことを特徴としている。上記構成では、上記第1の挿入孔に係止ピンが着脱自在に挿入されるので、係止ピンが消耗して交換する場合に、上記保持部材から上記固定ピンを抜くだけで容易に係止ピンを抜くことができ、メンテナンスが容易に行える。

請求項（抜粋）：

回転盤を有し、この回転盤上部で基板を保持して回転処理を行う基板処理装置において、上記回転盤に立設され、上端面に開放した第1の挿入孔が軸方向に沿って形成されているとともに、上記挿入孔と交差する第2の挿入孔が径方向に沿って形成された保持部材と、上記保持部材の上端面に設けられて上記基板の下面を支持する支持ピンと、上記第1の挿入孔に着脱自在に挿入されて上記基板の外周を係止する係止ピンと、上記第2の挿入孔に着脱自在に挿入され、上記係止ピンの側方部と係合してこの係止ピンの抜け出しを防止する固定ピンと、を具備したことを特徴とする基板処理装置。

IPC (6件)：

H01L 21/68 , B05C 11/08 , G03F 7/30 502 , H01L 21/027 , H01L 21/304 341 , H01L 21/304 351

FI (7件)：

H01L 21/68 N , B05C 11/08 , G03F 7/30 502 , H01L 21/304 341 C , H01L 21/304 351 S , H01L 21/30 564 C , H01L 21/30 569 C

引用特許：

審査官引用 (4件)

処理装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-257178 出願人：ソニー株式会社
基板押上げピンの着脱構造
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-287457 出願人：国際電気株式会社
特開平1-287940

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