多層膜ミラー

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：長谷川芳樹 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-308691
公開番号（公開出願番号）：特開2000-138407
出願日： 1998年10月29日
公開日（公表日）： 2000年05月16日
要約：

【要約】【課題】 500〜770nmの波長帯域を有する光パルスの幅を数〜数十fsオーダに圧縮可能な多層膜ミラーを提供する。【解決手段】この多層膜ミラーによれば、最外膜40が低屈折率であるため、高強度のレーザ光がこれに照射された場合においても、照射による最外膜の電界集中を減少させて、その破壊を抑制することができる。前記帯域内の長波長成分の群遅延が短波長成分の群遅延よりも大きくなるように設定するため、最外膜40直下の膜の屈折率これよりも高くし、光学膜厚がこれよりも薄くした。光学膜厚が上記の如く設定されているため、多層膜ミラーは、最大で7000cm-1超の反射光周波数帯域を有することができる。この帯域は、従来の多層膜ミラーのものよりも著しく広いため、広帯域反射光のチャープ補償を行うことができる。

請求項（抜粋）：

屈折率の異なる複数の誘電体膜を基板上に積層してなる多層膜ミラーにおいて、可視光帯域における反射率が95%以上であって、その露出面を構成する最外膜の屈折率がこの最外膜直下の膜の屈折率よりも低く、且つ、前記帯域内の長波長成分の群遅延が短波長成分の群遅延よりも大きくなるように、前記最外膜を含む前記誘電体膜各膜の光学膜厚が設定されていることを特徴とする多層膜ミラー。

IPC (4件)：

H01S 3/10 , G02B 5/08 , G02B 5/28 , G02F 1/35

FI (4件)：

H01S 3/10 Z , G02B 5/08 A , G02B 5/28 , G02F 1/35

Fターム (33件)：

2H042DA08 , 2H042DA12 , 2H042DB02 , 2H042DE07 , 2H048GA07 , 2H048GA14 , 2H048GA36 , 2H048GA51 , 2H048GA61 , 2K002AA04 , 2K002AA07 , 2K002AB12 , 2K002AB27 , 2K002AB30 , 2K002AB33 , 2K002BA02 , 2K002BA04 , 2K002CA02 , 2K002DA20 , 2K002EA07 , 2K002HA08 , 2K002HA16 , 2K002HA20 , 2K002HA23 , 2K002HA26 , 5F072AB20 , 5F072JJ20 , 5F072KK05 , 5F072KK11 , 5F072KK12 , 5F072QQ02 , 5F072QQ03 , 5F072RR03

引用特許：

審査官引用 (5件)

特開平2-023302
特開平2-182447
特開平2-097901

全件表示

前のページに戻る