特許
J-GLOBAL ID：200903020625019865
着色レジストの塗布方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
長谷川 曉司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-141274
公開番号（公開出願番号）：特開平10-328614
出願日： 1997年05月30日
公開日（公表日）： 1998年12月15日
要約：
【要約】【課題】 レジスト膜厚の変動が少ない、着色レジストの塗布方法。【解決手段】 透明基板上のレジスト膜の透過光強度に基づいて膜厚値を演算する膜厚測定装置からの測定値をもとに、塗布装置の回転数を制御する事を特徴とする、着色レジストの塗布方法。
請求項（抜粋）：
透明基板上に着色レジストを滴下し、該基板を回転させることにより基板上に着色レジスト膜を形成する塗布装置を用いて着色レジスト膜を形成する塗布方法において、基板上のレジスト膜の透過光強度に基づき膜厚値を演算する膜厚測定装置からの測定値をもとに、塗布装置の回転数を制御することを特徴とする着色レジストの塗布方法。
IPC (9件)：
B05D 1/40
, B05C 11/08
, B05D 3/00
, G01B 11/06
, G02B 5/00
, G02B 5/20 101
, G03F 7/004 505
, G03F 7/16 502
, H01L 21/027
B05D 1/40 A
, B05C 11/08
, B05D 3/00 F
, G01B 11/06 Z
, G02B 5/00 B
, G02B 5/20 101
, G03F 7/004 505
, G03F 7/16 502
, H01L 21/30 564 D
