有機エレクトロルミネセンス素子の製造方法及びその装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：山谷晧榮 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-096768
公開番号（公開出願番号）：特開2000-306666
出願日： 1994年10月07日
公開日（公表日）： 2000年11月02日
要約：

【要約】【課題】基板上に透明電極を形成した後の工程から保護膜形成の工程までを外気の酸化雰囲気から隔離して、連続して真空室中に行い、保護膜形成後に外気中に取出すようにした有機EL素子の製造方法及び装置を提供すること。【解決手段】有機エレクトロルミネセンス素子の少なくとも一部の、複数の層状部分を、真空槽1の周辺に形成された複数の作業用真空室11〜16において順次成膜し、保護膜の形成後に外部に取出すようにした。

請求項（抜粋）：

有機エレクトロルミネセンス素子の少なくとも一部の複数の層状部分を、真空槽の周辺に形成された複数の作業用真空室において順次成膜し、保護膜の形成後に外部に取出すようにしたことを特徴とする有機エレクトロルミネセンス素子の製造方法。

IPC (2件)：

H05B 33/10 , H05B 33/14

FI (2件)：

H05B 33/10 , H05B 33/14 A

引用特許：

審査官引用 (4件)

有機EL素子の封止方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-187906 出願人：出光興産株式会社
有機薄膜発光素子
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-019120 出願人：富士電機株式会社
マルチチヤンバー型スパツタリング装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-257823 出願人：松下電子工業株式会社

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