特許
J-GLOBAL ID:200903020657121068
薄膜コンデンサおよび可変容量コンデンサならびに電子部品
発明者:
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出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2005-328559
公開番号(公開出願番号):特開2006-196871
出願日: 2005年11月14日
公開日(公表日): 2006年07月27日
要約:
【課題】 耐湿信頼性に優れた薄膜コンデンサおよび可変容量コンデンサならびにそれを用いた電子部品を提供すること。 【解決手段】 支持基板上1に下部電極層2、誘電体層3および上部電極層4を順次被着してなるとともに、これらが絶縁体層5で被覆された容量発生部を設けており、下部電極層2および上部電極層4の少なくとも一方は、上面が下面より小さく、側面が上下方向に筋状の連続的な凹凸を有する斜面である薄膜コンデンサである。これにより、下部電極層2および上部電極層4の側面からの絶縁体層5の剥がれを有効に防止することができ、高い耐湿信頼性が得られる。【選択図】 図2
請求項(抜粋):
支持基板上に下部電極層、誘電体層および上部電極層を順次被着してなるとともに、これらが絶縁体層で被覆された容量発生部を設けており、前記下部電極層および前記上部電極層の少なくとも一方は、上面が下面より小さく、側面が上下方向に筋状の連続的な凹凸を有する斜面であることを特徴とする薄膜コンデンサ。
IPC (4件):
H01G 4/33
, H01G 15/00
, H01G 7/06
, H01G 5/40
FI (4件):
H01G4/06 102
, H01G4/38 Z
, H01G7/06
, H01G5/38 Z
Fターム (17件):
5E082AA01
, 5E082AB01
, 5E082BB01
, 5E082BB05
, 5E082BC14
, 5E082CC02
, 5E082CC12
, 5E082CC13
, 5E082EE02
, 5E082EE05
, 5E082EE13
, 5E082EE23
, 5E082EE37
, 5E082EE47
, 5E082FF05
, 5E082FG03
, 5E082FG42
引用特許:
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