特許
J-GLOBAL ID:200903020703832527
圧電振動片、圧電振動片の製造方法および圧電デバイス
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
村上 友一 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2002-155320
公開番号(公開出願番号):特開2003-347885
出願日: 2002年05月29日
公開日(公表日): 2003年12月05日
要約:
【要約】【課題】 圧電デバイスの小型薄型化が可能であり、また溝部における強度の確保が可能な、圧電振動片および圧電デバイスの提供を目的とする。【解決手段】 基部22から2本の振動腕26を延設し、その振動腕26に溝部28を形成し、その溝部28の内部に励振電極を形成する一方で、前記基部22の表面を厚さ方向に突出させて支持部24を形成し、支持部24の表面に接続電極を形成して、接続電極から前記励振電極に通電可能とした音叉型圧電振動片20である。この音叉型圧電振動片20につき、支持部24aをパッケージ40のキャビティ底面44に固着し、支持部24bをリッド48に固着して、圧電振動子1を形成した。
請求項(抜粋):
振動部の表面に励振電極を形成し、基部の表面に接続電極を形成して、前記接続電極から前記励振電極に通電可能とした圧電振動片であって、前記基部の表面を前記圧電振動片の厚さ方向に突出させ、前記圧電振動片の支持部を形成したことを特徴とする圧電振動片。
IPC (3件):
H03H 9/19
, H03H 3/02
, H03H 9/10
FI (4件):
H03H 9/19 J
, H03H 9/19 K
, H03H 3/02 C
, H03H 9/10
Fターム (13件):
5J108BB02
, 5J108CC06
, 5J108CC11
, 5J108EE03
, 5J108EE04
, 5J108EE07
, 5J108EE13
, 5J108EE18
, 5J108GG03
, 5J108JJ01
, 5J108KK01
, 5J108KK02
, 5J108KK07
引用特許:
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