特許

J-GLOBAL ID：200903020704855490

固体撮像装置及びその製造方法

発明者： 中野 隆
出願人/特許権者： 日本電気株式会社
代理人 (1件)： 桂木 雄二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-214115
公開番号（公開出願番号）：特開平9-045884
出願日： 1995年07月31日
公開日（公表日）： 1997年02月14日
要約：

【要約】【課題】 画素が縮小化しても感度及びS/Nの向上を図ることができる固体撮像装置及びその製造方法を提供する。【解決手段】 基板1に複数のフォトダイオードPDが形成され、各フォトダイオードへの入射光を集光するためのマイクロレンズ7が平坦化層2を介して複数形成される。平坦化層2の表面又は内部には、隣接するレンズ間の隙間部分に凹レンズ機能を有する凹曲面5aが形成される。凹曲面5aは、光の入射側の媒質より出射側の媒質の方が屈折率が大きい曲面である。より詳しくは、平坦化層表面に形成された凹部5、あるいは平坦化層内部に形成された凹曲面である。

請求項（抜粋）：

基板に複数の光電変換素子が配列形成された固体撮像装置において、前記複数の光電変換素子を覆う透明層と、前記透明層上に設けられ、前記複数の光電変換素子の各々に対応した複数の集光レンズと、からなり、前記透明層は、隣接する前記集光レンズの間に凹レンズ機能を有する光学手段を含む、ことを特徴とする固体撮像装置。

引用特許：

審査官引用 (4件)

• マイクロレンズおよびその作製方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-128256   出願人：オリンパス光学工業株式会社
• 固体撮像素子
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-185994   出願人：日本電気株式会社
• 固体撮像装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-206311   出願人：松下電子工業株式会社
• 特開平4-322466