特許
J-GLOBAL ID:200903020725012850
ガスバリア性材料、ガスバリア性材料の製造方法、透明導電膜付ガスバリア性材料及び有機エレクトロルミネッセンス素子
発明者:
,
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2006-125271
公開番号(公開出願番号):特開2007-296691
出願日: 2006年04月28日
公開日(公表日): 2007年11月15日
要約:
【課題】高いガスバリア性を有し、折り曲げ耐性に優れ、透明性を有したガスバリア性材料、ガスバリア性材料の製造方法、このガスバリア性材料を使用した透明導電膜付ガスバリア性材料、及び有機エレクトロルミネッセンス素子の提供。【解決手段】基材の上に、少なくともバリア膜を有するガスバリア性材料において、前記バリア膜が、同じ組成の酸化金属膜、窒化金属膜または酸窒化金属膜であって、且つ、硬さの異なるサブバリア層を、隣接して少なくとも2層有することを特徴とするガスバリア性材料。【選択図】図1
請求項(抜粋):
基材の上に、少なくともバリア膜を有するガスバリア性材料において、前記バリア膜が、実質的に同じ組成の酸化金属膜、窒化金属膜または酸窒化金属膜であって、且つ、硬さの異なるサブバリア層を、隣接して少なくとも2層有することを特徴とするガスバリア性材料。
IPC (7件):
B32B 9/00
, C23C 16/30
, C23C 16/50
, H05B 33/02
, H01L 51/50
, H05B 33/04
, H05B 33/28
FI (7件):
B32B9/00 A
, C23C16/30
, C23C16/50
, H05B33/02
, H05B33/14 A
, H05B33/04
, H05B33/28
Fターム (51件):
3K107AA01
, 3K107CC23
, 3K107DD13
, 3K107DD19
, 3K107EE42
, 3K107EE50
, 3K107FF02
, 3K107FF14
, 3K107GG03
, 4F100AA12B
, 4F100AA12C
, 4F100AA12D
, 4F100AA12E
, 4F100AA17B
, 4F100AA17C
, 4F100AA17D
, 4F100AA17E
, 4F100AA20C
, 4F100AA20D
, 4F100AA33B
, 4F100AK25
, 4F100AK42
, 4F100AT00A
, 4F100BA04
, 4F100BA05
, 4F100BA10D
, 4F100EH66
, 4F100GB41
, 4F100JD02B
, 4F100JD02C
, 4F100JD02D
, 4F100JG01
, 4F100JK12C
, 4F100JK12D
, 4F100JL11E
, 4F100JN01
, 4F100YY00C
, 4F100YY00D
, 4F100YY00E
, 4K030AA01
, 4K030AA06
, 4K030AA14
, 4K030BA35
, 4K030BA44
, 4K030BB12
, 4K030CA07
, 4K030CA12
, 4K030FA01
, 4K030GA14
, 4K030JA09
, 4K030LA18
引用特許: