特許
J-GLOBAL ID:200903020738599035

アルカリ現像が可能な感光性樹脂組成物及びその感光性樹脂組成物を用いた感光性無機組成物。

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (2件): 角田 嘉宏 ,  古川 安航
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2004-089361
公開番号(公開出願番号):特開2005-275071
出願日: 2004年03月25日
公開日(公表日): 2005年10月06日
要約:
【課題】 十分な光重合性を有し、解像度の高い焼成パターンが得られ、屈曲性に優れ、基材に対する良好な密着性と優れたアルカリ現像性を備えた感光性樹脂組成物及びその感光性樹脂組成物を用いた感光性無機組成物を提供すること。【解決手段】 ポリビニルブチラール樹脂もしくはポリビニルアセタール樹脂の水酸基残基に対し、重合性二重結合とカルボキシル基の双方を導入してなるアルカリ現像が可能な感光性樹脂を必須成分として含有する感光性樹脂組成物を用いる。【選択図】 なし
請求項(抜粋):
ポリビニルブチラール樹脂もしくはポリビニルアセタール樹脂の水酸基残基に対し、重合性二重結合とカルボキシル基の双方を導入してなるアルカリ現像が可能な感光性樹脂を必須成分として含有する感光性樹脂組成物。
IPC (1件):
G03F7/038
FI (1件):
G03F7/038 501
Fターム (16件):
2H025AA02 ,  2H025AA04 ,  2H025AA14 ,  2H025AB15 ,  2H025AC01 ,  2H025AD01 ,  2H025BC32 ,  2H025BC42 ,  2H025BC56 ,  2H025BC66 ,  2H025BC85 ,  2H025CA01 ,  2H025CC08 ,  2H025FA03 ,  2H025FA17 ,  2H025FA29
引用特許:
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (14件)
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