特許
J-GLOBAL ID：200903020762778307
プラズマ洗浄装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
三好 秀和 (外8名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-331069
公開番号（公開出願番号）：特開2002-126675
出願日： 2000年10月30日
公開日（公表日）： 2002年05月08日
要約：
【要約】【課題】 組付性の向上を図ると共に、洗浄する製品の出し入れを容易にする。【解決手段】 プラズマ洗浄装置1のチャンバ3を、上部電極13が配置された可動チャンバ部5と下部電極15が配置されると共に上面に製品を載せる製品セットステージ21が設けられた固定チャンバ部7とで構成し、可動チャンバ部5を駆動手段29によって上下動自在に支持する。
請求項（抜粋）：
少なくとも、内部に対向し合う上部電極と下部電極とを有するチャンバと、高周波を発生させる発振器と、前記上部電極と下部電極のいずれか一方をホット電極とした時に他方をコールド電極とする一対の第1の整合器及び第2の整合器とを備え、前記チャンバを、前記上部電極が配置された可動チャンバ部と前記下部電極が配置されると共に上面に製品を載せる製品セットステージが設けられた固定チャンバ部とで構成し、可動チャンバ部は駆動手段によって上下動自在に支持されていることを特徴とするプラズマ洗浄装置。
IPC (3件)：
B08B 7/00
, H01L 21/3065
, H01L 21/304 645
B08B 7/00
, H01L 21/304 645 C
, H01L 21/302 C
3B116AA02
, 3B116AA04
, 3B116AB03
, 3B116AB42
, 3B116BC01
, 5F004AA14
, 5F004BA04
, 5F004DA23
, 5F004DA26
