特許
J-GLOBAL ID：200903051259687038

基板のプラズマクリーニング装置

発明者：
岩井 哲宏

岩井 哲宏 について


出願人/特許権者：
松下電器産業株式会社

松下電器産業株式会社 について


代理人 (1件)： 滝本 智之 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-047513
公開番号（公開出願番号）：特開平10-242097
出願日： 1997年03月03日
公開日（公表日）： 1998年09月11日
要約：
【要約】【課題】 プラズマ発生時に真空チャンバ内全体の観察が良好に行え、しかもプラズマによる悪影響を受けない内部観察手段を備えた基板のプラズマクリーニング装置を提供することを目的とする。【解決手段】 真空チャンバ13の蓋12の天井面に開口12aを設け、開口12aに透明板15を装着する。透明板5から所定の間隔H隔てた下方にメッシュプレート19bよりなる対向電極19を配置する。真空チャンバ13内にガスを送り、電極17に高周波電圧を印加させてプラズマを発生させ、基板8の表面をクリーニングする。この場合、透明板15を通して真空チャンバ13内のプラズマの発生状況を観察する。また透明板15はメッシュプレート19bによりプラズマからシールドされるためダメージを受けない。
請求項（抜粋）：
ベース板およびこのベース板上に設けられ、かつ接地電極を兼ねる蓋よりなる真空チャンバと、蓋を開閉する開閉手段と、真空チャンバの下部に設けられた電極と、真空チャンバ内を減圧する吸排気手段と、真空チャンバ内にプラズマ発生用ガスを供給するプラズマ発生用ガス供給手段とを備えた基板のプラズマクリーニング装置であって、前記蓋の天井部に透明板を装着し、かつこの透明板の下方にこの透明板をシールドする金属製のメッシュプレートを配設し、このメッシュプレートが前記蓋と導通して接地電極を兼ねることを特徴とする基板のプラズマクリーニング装置。
IPC (4件)：
H01L 21/304 341 ,  B08B 7/00 ,  H01L 21/3065 ,  H05K 3/26
FI (4件)：
H01L 21/304 341 D ,  B08B 7/00 ,  H05K 3/26 A ,  H01L 21/302 N
引用特許：
審査官引用 (4件)
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