特許

J-GLOBAL ID：200903020788608671

熱式流量計

発明者： 伊藤 彰浩 ,  世古 尚嗣 ,  北川 昭市 ,  吉島 秀樹
出願人/特許権者： シーケーディ株式会社 ,  株式会社ノリタケカンパニーリミテド
代理人 (1件)： 富澤 孝 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-053390
公開番号（公開出願番号）：特開2003-254806
出願日： 2002年02月28日
公開日（公表日）： 2003年09月10日
要約：

【要約】【課題】 圧力および温度変化による計測出力のドリフトを防止するとともに、放出ガスの発生を抑制することができる熱式流量計を提供することを課題とする。【解決手段】 熱式流量計1において、センサ基板21のベースにアルミナ基板22を使用する。これにより、センサ基板21の強度が高められるので、被測定流体の圧力によるセンサ基板21の歪みが生じにくい。また、アルミナ基板22の線膨張計数は、測定チップ(シリコンウエハ)11の線膨張係数に近いため、温度の影響によるセンサ基板21の歪みが生じにくい。その結果、圧力と温度の影響による測定出力のドリフトが防止される。さらに、アルミナ基板21は、放出ガスを発生しにくいため、熱式流量計1は、放出ガスを嫌う装置にも使用することができる。

請求項（抜粋）：

熱線と前記熱線に接続する熱線用電極とが設けられたシリコンの測定チップと、前記熱線を用いた計測原理を行うための電気回路に接続する電気回路用電極が設けられるとともに、溝が形成されたアルミナの基板と、前記基板が密着することによりバイパス流路が形成されるボディとを備え、前記熱線用電極と前記電気回路用電極とを接着して前記測定チップを前記基板に実装することによってセンサ流路を前記測定チップと前記基板との間に前記溝で形成するとともに、前記センサ流路に前記熱線を橋設させたことを特徴とする熱式流量計。

IPC (2件)：

G01F 1/684 ,  G01F 1/692

FI (3件)：

G01F 1/68 101 A ,  G01F 1/68 101 B ,  G01F 1/68 104 A

Fターム (3件)：

2F035EA03 ,  2F035EA04 ,  2F035EA08

引用特許：

審査官引用 (4件)

• フローセンサ及びその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-143697   出願人：株式会社リコー, リコー精器株式会社, リコーエレメックス株式会社
• 特公平3-042616
  
• 質量流量センサ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-339652   出願人：株式会社エステック
• 特公平4-005928