特許
J-GLOBAL ID：200903020796279091
基板搬送装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小谷 悦司 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-301965
公開番号（公開出願番号）：特開平10-144762
出願日： 1996年11月13日
公開日（公表日）： 1998年05月29日
要約：
【要約】【課題】 搬送アームの移動と開口部におけるシャッタ部材の開閉とのマッチングを確実に行うと共に、基板処理装置内のスペースおよびコストを抑制する。【解決手段】 搬送アーム20およびシャッタ機構の制御系は、搬送アーム20の移動に機械的に連動してシャッタ機構が動作する同一制御系となっているので、搬送アーム20の移動とシャッタ機構による開口部7aの開閉動作との動作マッチングが正確に図られて、搬送アーム20とシャッタ部材11との衝突は防止される。したがって、この衝突による各部の破損やそれによるパーティクルの発生も解消される。また、この場合、従来のシャッタ機構側の駆動系であるエアーシリンダやその制御系である電磁弁部材などが省略されて、基板処理装置内のスペースやそのコストが抑制される。
請求項（抜粋）：
開閉自在なシャッタ部材を有する開口部を通して基板処理装置に基板を搬入または搬出する基板搬送装置において、基板を保持しつつ、基板の搬送を行う搬送手段と、前記開口部を通して前記基板処理装置に基板を搬入または搬出するように前記搬送手段を移動させる駆動手段と、前記駆動手段による前記搬送手段の移動に連動させて前記シャッタ部材の開閉を行わせる連動手段と、を備えたことを特徴とする基板搬送装置。
IPC (3件)：
H01L 21/68
, B65G 49/00
, B65G 49/07
H01L 21/68 A
, B65G 49/00 C
, B65G 49/07 Z
