非接触熱プラットフォーム

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出願人/特許権者：
代理人 (2件)：齋藤和則 , 伊東哲也
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-503493
公開番号（公開出願番号）：特表2007-531858
出願日： 2005年03月16日
公開日（公表日）： 2007年11月08日
要約：

物体を熱処理する少なくとも1つの装置を含む熱処理システムであって、該装置は、1つのプラットフォーム、または互いに反対側に位置した2つのプラットフォームからなり、ここで少なくとも1つのプラットフォームは物体を加熱または冷却する少なくとも1つの熱的手段を有し、少なくとも1つのプラットフォームは、非接触で物体を支持する流体機械的手段を有している、熱処理システムである。前記プラットフォームは、少なくとも1つの、複数からなる基本セルからなる作動面を有し、この基本セルは、少なくとも1つの、複数からなる圧力吐出口と、少なくとも1つの、複数からなる流体排出流路を有するものである。各基本セルの圧力吐出口の少なくとも1つは、流量絞り機構を介して高圧流体源に流体的に接続され、この圧力吐出口は、前記物体とプラットフォームの作動面の間の流体クッションの形成維持のために加圧流体を供給するものである。流量絞り機構は、特性的には、流体的な戻しばね的な挙動を示すものである。各流体排出路は流入口と流出口を有し、各基本セルに対する質量流量の平衡をとるものである。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

物体を熱処理する少なくとも1つの装置を含む熱処理システムであって、前記装置は、実質的に互いに反対側に位置する少なくとも一対のプラットフォームからなり、ここで前記プラットフォームの少なくとも1つは、前記物体を加熱または冷却する少なくとも1つの熱的手段を有し、また、前記プラットフォームのうちの少なくとも1つは、前記物体を非接触で支持する流体機械的手段を有し、前記プラットフォームは、少なくとも1つの、複数からなる基本セルからなる作動面を有し、前記の各基本セルは、少なくとも1つの、複数からなる圧力吐出口と、少なくとも1つの、複数からなる流体排出流路を有し、前記の各基本セルの前記圧力吐出口の少なくとも1つは、流体絞り機構を介して高圧流体供給源に流体的に接続され、前記圧力吐出口は、前記物体と前記プラットフォームの作動面との間に流体クッションを形成維持するために高圧流体を供給し、前記流体絞り機構は、特性的には、流体的な戻しばね的挙動を示し、前記の少なくとも1つの、複数個からなる流体排出流路の各々は、流入口と流出口を有し、前記の少なくとも1つの、複数個からなる基本セルに対する質量流量の局所的平衡をとるものである、熱処理システム。

IPC (3件)：

F27B 9/20 , H01L 21/683 , F26B 13/20

FI (3件)：

F27B9/20 , H01L21/68 N , F26B13/20

Fターム (47件)：

3L113AB02 , 3L113AC45 , 3L113AC46 , 3L113AC48 , 3L113AC49 , 3L113AC51 , 3L113AC67 , 3L113AC76 , 3L113BA34 , 3L113CB23 , 3L113DA02 , 3L113DA08 , 4K050AA02 , 4K050BA17 , 4K050CG01 , 5F031CA02 , 5F031CA05 , 5F031FA01 , 5F031FA02 , 5F031FA07 , 5F031FA12 , 5F031GA02 , 5F031GA35 , 5F031GA49 , 5F031HA02 , 5F031HA12 , 5F031HA24 , 5F031HA27 , 5F031HA33 , 5F031HA37 , 5F031HA38 , 5F031HA39 , 5F031HA44 , 5F031HA46 , 5F031JA01 , 5F031JA02 , 5F031JA46 , 5F031KA03 , 5F031KA04 , 5F031LA03 , 5F031MA02 , 5F031MA28 , 5F031MA29 , 5F031MA30 , 5F031MA32 , 5F031PA11 , 5F031PA20

引用特許：

審査官引用 (5件)

連続亜鉛メッキ設備の炉内雰囲気ガス制御装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-107905 出願人：新日本製鐵株式会社
異種雰囲気連続ガス処理炉の隔壁構造
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-317405 出願人：新日本製鐵株式会社
特開昭60-190529

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