特許
J-GLOBAL ID：200903020834206834
反射防止膜およびその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
船橋 國則
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-229560
公開番号（公開出願番号）：特開平11-218603
出願日： 1998年08月14日
公開日（公表日）： 1999年08月10日
要約：
【要約】【課題】 CRTパネルガラス表面に貼り付けて用いる反射防止膜は、付着強度、反射率特性、電気抵抗、全光線透過率に関する全ての条件を満たすことは困難であり、それらを満たそうとすると、生産性が低下して高価格となっていた。【解決手段】 ベースフィルム11上に酸化シリコン(SiOx )膜21,酸化シリコン(SiO2 )膜23,25とインジウムスズ酸化膜22,24とを多層に積層してなる反射防止膜20において、最上層の酸化シリコン膜25の膜厚は、その直下のインジウムスズ酸化膜24の膜厚よりも厚く形成されているものであり、ベースフィルムとの界面におけるSiOx 膜21のxの範囲は0.5〜1.9となっているものである。
請求項（抜粋）：
ベースフィルム上に酸化シリコン膜とインジウムスズ酸化膜とを多層に積層してなる反射防止膜において、前記反射防止膜における最上層の酸化シリコン膜の膜厚は、該酸化シリコン膜の直下のインジウムスズ酸化膜の膜厚よりも厚く形成されていることを特徴とする反射防止膜。
IPC (8件)：
G02B 1/11
, B32B 7/02 103
, B32B 9/00
, C23C 14/08
, G02B 1/10
, G09F 9/00 318
, H01J 9/20
, H01J 29/88
G02B 1/10 A
, B32B 7/02 103
, B32B 9/00 A
, C23C 14/08 N
, C23C 14/08 D
, G09F 9/00 318 A
, H01J 9/20 A
, H01J 29/88
, G02B 1/10 Z
