特許
J-GLOBAL ID：200903020845958633

排気システムおよびそのメンテナンス方法

発明者：
向井 清和

向井 清和 について


出願人/特許権者：
日本フッソ工業株式会社

日本フッソ工業株式会社 について


代理人 (6件)： 深見 久郎 ,  森田 俊雄 ,  仲村 義平 ,  堀井 豊 ,  野田 久登 ,  酒井 將行
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-427318
公開番号（公開出願番号）：特開2005-187842
出願日： 2003年12月24日
公開日（公表日）： 2005年07月14日
要約：
【課題】 非常に簡単な作業により排気管に堆積した堆積物を除去することができる排気システムおよびそのメンテナンス方法を提供する。【解決手段】 処理室1から排ガスを排気するシステムであって、処理室から排気される排ガスを通す排気管5と、排気ガスから排気管内面に堆積してできた堆積物が剥離されたものである剥離物をトラップするためのトラップ7とを備え、処理室とトラップとの間の排気管に内面被覆層6が形成されている。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
処理室から排気ガスを排気するシステムであって、 前記処理室から排気される排気ガスを通す排気管と、 前記排気管に設けられ、前記排気ガスから前記排気管内面に堆積してできた堆積物が剥離されたものである剥離物をトラップするためのトラップとを備え、 前記処理室とトラップとの間の排気管に内面被覆層が形成されている、排気システム。
IPC (2件)：
C23C16/44 ,  H01L21/205
FI (2件)：
C23C16/44 J ,  H01L21/205
Fターム (6件)：
4K030DA06 ,  4K030EA11 ,  4K030KA47 ,  5F045EC08 ,  5F045EG01 ,  5F045EG08
引用特許：
出願人引用 (1件) 審査官引用 (5件)
  • 配管クリーニング機構
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-090257   出願人：日立電子エンジニアリング株式会社
  • 熱処理装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-019341   出願人：東京エレクトロン株式会社
  • 帯電防止フッ素樹脂チューブ
    公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-190137   出願人：東京エレクトロン株式会社, ニチアス株式会社
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