特許
J-GLOBAL ID：200903020936490782
水素化物ガス中の微量不純物分析方法及び装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
木戸 一彦
, 木戸 良彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-087945
公開番号（公開出願番号）：特開2007-263678
出願日： 2006年03月28日
公開日（公表日）： 2007年10月11日
要約：
【課題】水素化物ガス又は水素化物を含む混合ガス中に含まれている微量不純物を高感度で正確に分析することができる水素化物ガス中の微量不純物分析方法及び装置を提供する。【解決手段】水素化物ガス中に含まれる微量不純物を分析するにあたり、前記水素化物ガスを、水素化物ガスと反応する特定物質と反応させたり、低温で液化又は固化させたりすることによって水素化物のみを実質的に除去した後、前記微量不純物をキャリアガスに同伴させて分析計に導入して分析する。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
水素化物ガス中に含まれる微量不純物を分析するにあたり、前記水素化物ガスを、該水素化物ガスと反応する物質に水素化物ガスを接触させて反応させることによって実質的に除去した後、前記微量不純物を分析計に導入して分析することを特徴とする水素化物ガス中の微量不純物分析方法。
IPC (2件)：
FI (3件)：
G01N30/14 A
, G01N30/14 Z
, G01N30/88 G
出願人引用 (1件)
審査官引用 (6件)
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