無発塵空気イオン化装置及び方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：木内光春
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-266260
公開番号（公開出願番号）：特開2000-100595
出願日： 1998年09月21日
公開日（公表日）： 2000年04月07日
要約：

【要約】【課題】高純度N2 ガスを使用せず、簡単な構成で安価な無発塵空気イオン化装置及び方法を提供する。【解決手段】活性炭もしくは酸化触媒等を担持したガス吸着材10を配置し、空気中に含まれるシロキサン等の微量ガス成分を吸着除去する。この空気をシースガスとしてコロナ電極3a,3bの周囲に供給し、このシースガス内でコロナ放電を発生させる。

請求項（抜粋）：

コロナ電極を備え、コロナ放電により正または負のイオンを生成するイオン発生装置と、空気中の微量ガス成分を除去するガス除去手段と、前記ガス除去手段によって微量ガス成分が除去された空気を、シースガスとして前記コロナ電極の周囲に供給するシースガス供給手段とを具備することを特徴とする無発塵空気イオン化装置。

IPC (3件)：

H05F 3/04 , H01T 19/04 , H01T 23/00

FI (3件)：

H05F 3/04 D , H01T 19/04 , H01T 23/00

Fターム (4件)：

5G067AA11 , 5G067AA70 , 5G067DA14 , 5G067DA22

引用特許：

審査官引用 (7件)

特開平3-016661
クリーンルーム用イオナイザ
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-172809 出願人：株式会社テクノ菱和
クリーンルームおよび基板搬送システム
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-040385 出願人：高砂熱学工業株式会社

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