特許
J-GLOBAL ID：200903021006804562
積層圧電素子の製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
岸田 正行 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-034980
公開番号（公開出願番号）：特開平11-233846
出願日： 1998年02月17日
公開日（公表日）： 1999年08月27日
要約：
【要約】【課題】 積層圧電素子の積層状態の良否を簡単に判別できる積層圧電素子の製造方法を提供する。【解決手段】 電気-機械エネルギー変換機能を有する材料で構成される圧電体層(11-1〜11-n)と、複数個の積層圧電素子分の電極材料の電極層(12-1〜12-n)とを交互に複数重ねて積層したものを一次積層体14とし、所定位置で切断することにより、複数個の二次積層体を得る積層圧電素子の製造方法において、各電極層(12-1〜12-n)に対する平面内2次元方向の位置ずれを検出する印1、2を前記圧電体層(11-1〜11-n)上に設けた。
請求項（抜粋）：
電気-機械エネルギー変換機能を有する材料で構成される圧電体層と、電極材料の電極層とを交互に複数重ねて積層したものを一次積層体とし、この一次積層体を焼結して積層圧電素子を形成する積層圧電素子の製造方法において、各電極層に対する平面内2次元方向の位置ずれを検出する印を前記圧電体層上に設けたことを特徴とする積層圧電素子の製造方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L 41/22 Z
, H01L 41/08 S
