特許
J-GLOBAL ID：200903021008071210
走査型プローブ顕微鏡
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
林 敬之助
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-285619
公開番号（公開出願番号）：特開2001-108601
出願日： 1999年10月06日
公開日（公表日）： 2001年04月20日
要約：
【要約】【課題】 試料の表面形状とプローブと試料間に働く相互作用および試料表面上の三次元空間における物理量や場の分布を測定可能な走査型プローブ顕微鏡を提供すること。【解決手段】 プローブ12と試料14との間隔を周期的に変化させることにより、物理的または化学的なプローブ12と試料間の相互作用の距離に対する変化および、試料表面の物理的または化学的な性質を反映する信号をサンプリングすると同時に試料表面を走査する。これにより、試料14の表面形状に加えて、例えば磁場の三次元空間における分布を同時に測定することができ、試料表面の極近傍における測定も可能とした。
請求項（抜粋）：
微少なプローブを試料表面を走査させると同時に、試料表面の凹凸に沿うようにプローブを試料表面に対して垂直方向に、相対的に移動させることによって、試料表面の微小な構造を観察する走査型プローブ顕微鏡において、プローブまたは試料が振動することによって、プローブと試料との間隔を周期的に変化させる手段と、試料に対して相対的に振動しているプローブの振動中心と試料表面との間隔を一定に保つ手段と、表面形状に関する情報と同時にプローブと試料との間に働く相互作用を反映する力および試料の性質を反映する物理量のプローブと試料との間隔に対する変化を記録する手段とを有し、試料の表面形状に加えてプローブと試料との相互作用および、試料の性質を反映する物理量の試料表面上の空間における分布を画像化することを特徴とする走査型プローブ顕微鏡。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01N 13/16 A
, G12B 1/00 601 A
審査官引用 (1件)
-
3次元走査プローブ顕微鏡
公報種別：公開公報
出願番号：特願平9-203484
出願人：セイコーインスツルメンツ株式会社
引用文献：
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