特許
J-GLOBAL ID：200903031797766540
3次元走査プローブ顕微鏡
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
林 敬之助
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-203484
公開番号（公開出願番号）：特開平11-044698
出願日： 1997年07月29日
公開日（公表日）： 1999年02月16日
要約：
【要約】【課題】 1回の観察で、試料の複数の物理量を観察することのできる3次元走査プローブ顕微鏡を提供することにある。【解決手段】 第1の発振器5からはカンチレバー3の共振周波数の信号が出力され、振動子4と制御部10に印加される。一方、第2の発振器11からは、大きな振幅A0 を有する低周波の信号が出力され、ピエゾ走査装置1に印加される。このため、探針は試料2に対して、相対的に、試料を押圧する位置から原子間力を受けなくなる位置までの間を周期的に移動する。探針はこの移動の間に、試料の固さ情報、試料の表面形状情報、試料の吸着層に関する情報、および試料表面から放射される物理量(例えば、電磁場、吸着力、表面間力、液中の電気二重層力等)の深さ方向の情報等の試料の複数の物理情報を提供する。
請求項（抜粋）：
試料面に平行なx,y方向の走査と、該試料面に垂直なz方向の移動とを該試料面に対して相対的に行える探針を備えた3次元走査プローブ顕微鏡において、前記探針を前記試料面に対して、少なくとも試料を押圧する位置から原子間力を受けなくなる位置までの振幅でz方向に第2の周波数で移動させ、該探針の移動中に得られる複数のデータを採取するようにしたことを特徴とする3次元走査プローブ顕微鏡。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01N 37/00 F
, G01B 21/30 Z
