粉体表面改質方法および装置

発明者： , , , , , , , , ,
出願人/特許権者： , , ,
代理人 (1件)：関正治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-056196
公開番号（公開出願番号）：特開2004-261747
出願日： 2003年03月03日
公開日（公表日）： 2004年09月24日
要約：

【課題】粉体の表面改質処理を均質にかつ高速に行う粉体表面改質方法と装置を提供する。【解決手段】活性元素の窒素、酸素、水素、フッ素と塩素のうちから選ばれた1種以上の元素を含んで構成される分子のガス、あるいはそれらの分子が2種以上混合した混合体のガスに電子ビームガンから加速した電子21を照射して解離・電離・励起することにより電子ビーム励起プラズマ22を生成し、このプラズマを粉体23に作用させて、プラズマに含まれる活性元素が関わる窒化、酸化、酸窒化、還元、水素化、フッ化、塩素化などの化学反応により粉体表面を改質する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

活性元素の窒素、酸素、水素、フッ素と塩素のうちから選ばれた1種以上の元素を含んで構成される分子を1種以上含有するガス、あるいは、不活性元素のアルゴンとヘリウムを加えたもののうちから選ばれた1種以上の元素を含んで構成される分子をさらに加えて混合したガスに、電子ビームガンから加速した電子を照射して解離・電離・励起することにより電子ビーム励起プラズマを生成し、該プラズマを粉体に作用させて含まれる活性元素の化学反応により該粉体の表面を改質することを特徴とする粉体表面改質方法。

IPC (5件)：

B01J19/08 , B01J3/00 , B01J3/02 , C23C8/36 , H05H1/46

FI (5件)：

B01J19/08 K , B01J3/00 J , B01J3/02 N , C23C8/36 , H05H1/46 A

Fターム (30件)：

4G047CA01 , 4G047CB08 , 4G047CD03 , 4G075AA24 , 4G075AA27 , 4G075AA30 , 4G075BA05 , 4G075BB05 , 4G075BB10 , 4G075CA02 , 4G075CA39 , 4G075CA62 , 4G075CA65 , 4G075DA02 , 4G075DA18 , 4G075EA06 , 4G075EB01 , 4G075EB21 , 4G075EB43 , 4G075EC12 , 4G075EC21 , 4G075ED04 , 4G075ED15 , 4G075EE05 , 4K028BA01 , 4K028BA02 , 4K028BA05 , 4K028BA11 , 4K028BA21 , 4K028BA22

引用特許：

審査官引用 (6件)

特開昭59-145038
電子ビーム励起プラズマ成膜装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-146806 出願人：川崎重工業株式会社
特開平2-172138

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