特許
J-GLOBAL ID：200903021027507070
減圧乾燥装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
大坪 隆司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-343511
公開番号（公開出願番号）：特開2006-156620
出願日： 2004年11月29日
公開日（公表日）： 2006年06月15日
要約：
【課題】 支持板とチャンバーの底面との距離を極めて小さく設定した場合においても、排気口からの排気を効率的に実行することが可能な減圧乾燥装置を提供すること。【解決手段】 減圧乾燥装置は、蓋部11と、パッキング12と、基部13とから成るチャンバ10と、このチャンバ10における基部13に立設された支持ピン15と、複数の昇降ピン21が立設された平面視において矩形状の支持板22とを備える。支持板22の下面には、排気口31と対向する位置から支持板22の端縁に至る位置まで、空気の流通路50が形成されている。この空気の流通路50は、各排気口31と対向する位置から支持板22における角部に至る位置までの間に形成された、矩形状の座グリ部から構成される。【選択図】 図2
請求項（抜粋）：
基板の主面に形成された薄膜を減圧乾燥する減圧乾燥装置において、
基板の周囲を覆うチャンバと、
基板をその主面が水平となる状態で支持する支持部材を備えた支持板と、
前記チャンバ底面における前記支持板と対向する位置に形成された排気口と、
前記排気口を介して排気を行う排気手段とを備え、
前記支持板の下面には、前記排気口と対向する位置から前記支持板の端縁に至る位置まで、空気の流通路が形成されていることを特徴とする減圧乾燥装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (8件)：
3L113AA01
, 3L113AB10
, 3L113BA34
, 3L113CB16
, 3L113DA04
, 3L113DA24
, 5F046KA05
, 5F046KA10
