ベルト状金型およびそれを用いたナノインプリント装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：ポレール特許業務法人
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-251415
公開番号（公開出願番号）：特開2009-078521
出願日： 2007年09月27日
公開日（公表日）： 2009年04月16日
要約：

【課題】ナノインプリントにおいて高アスペクト比の微細構造体を高速で安定して形成するための微細構造パターン転写用ベルト状金型およびそれを用いた微細パターン転写装置(ナノインプリント装置)を提供する。【解決手段】本発明のナノインプリント用のベルト状金型は、ベルト状支持体と、転写しようとする微細な凹凸パターンを一方の表面に有する複数のスタンパと、前記ベルト状支持体と前記スタンパとを固定するための接着部材からなり、前記接着部材は、多孔質体とその両面に形成される接着層から構成され、前記接着層の一部が前記多孔質体に含浸しており、かつ、前記接着層の含浸領域に挟まれるように前記接着層が含浸していない空隙領域を有する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

ナノインプリント用の金型であって、ベルト状支持体と、転写しようとする微細な凹凸パターンを一方の表面に有する複数のスタンパと、前記ベルト状支持体と前記スタンパとを固定するための接着部材からなり、前記接着部材は、多孔質体とその両面に形成される接着層から構成され、前記接着層の一部が前記多孔質体に含浸しており、かつ、前記接着層の含浸領域に挟まれるように前記接着層が含浸していない空隙領域を前記多孔質体に有していることを特徴とするベルト状金型。

IPC (2件)：

B29C 59/04 , H01L 21/027

FI (2件)：

B29C59/04 B , H01L21/30 502D

Fターム (29件)：

4F202AF01 , 4F202AG01 , 4F202AG05 , 4F202AH36 , 4F202AJ02 , 4F202AJ03 , 4F202AJ09 , 4F202AJ10 , 4F202CA19 , 4F202CB01 , 4F202CC02 , 4F202CD23 , 4F202CD30 , 4F202CK89 , 4F209AF01 , 4F209AG05 , 4F209AH33 , 4F209AH73 , 4F209AJ08 , 4F209AJ09 , 4F209PA05 , 4F209PB02 , 4F209PC01 , 4F209PC05 , 4F209PN06 , 4F209PQ06 , 4F209PQ11 , 4F209PQ16 , 5F046AA28

引用特許：

出願人引用 (3件)

米国特許第5,259,926号公報
米国特許第5,772,905号公報
微細構造転写装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2005-151763 出願人：株式会社日立プラントテクノロジー

審査官引用 (5件)

薄型光記録媒体
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-211723 出願人：株式会社日立製作所
通気性を有するフィルムを備えるスタンパーと該スタンパーを備える成形装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2004-077357 出願人：農工大ティー・エル・オー株式会社
特開平2-307736

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