特許

J-GLOBAL ID：200903021110469422

常温接合装置

発明者： 木ノ内 雅人 ,  後藤 崇之 ,  田原 諭 ,  津野 武志 ,  内海 淳 ,  浅野 伸 ,  津村 陽一郎 ,  井手 健介 ,  鈴木 毅典
出願人/特許権者： 三菱重工業株式会社
代理人 (2件)： 工藤 実 ,  中尾 圭策
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-085405
公開番号（公開出願番号）：特開2007-266058
出願日： 2006年03月27日
公開日（公表日）： 2007年10月11日
要約：

【課題】装置を長寿命化すること。【解決手段】真空雰囲気を生成する接合チャンバ2と、ロードロックチャンバー3と接合チャンバ2との間を開閉するゲートバルブ5と、ゲートバルブ5を介して上側基板と下側基板とをロードロックチャンバー3から接合チャンバ2に搬送する搬送機構8と、上側基板の常温接合される表面と下側基板の常温接合される表面とに粒子を真空雰囲気で照射するイオンガン32とを備えている。このとき、イオンガン32は、接合チャンバ2の内側表面のうちのゲートバルブ5を除く領域に向いている。このような常温接合装置1は、ゲートバルブ5の汚染が防止されて、長寿命化する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

真空雰囲気を生成する接合チャンバーと、 ロードロックチャンバーと前記接合チャンバーとの間を開閉するゲートバルブと、 前記ゲートバルブを介して上側基板と下側基板とを前記ロードロックチャンバーから前記接合チャンバーに搬送する搬送機構と、 前記上側基板の常温接合される表面と前記下側基板の常温接合される表面とに粒子を前記真空雰囲気で照射する表面清浄化装置とを具備し、 前記表面清浄化装置の照射方向は、前記接合チャンバーの内側表面のうちの前記ゲートバルブを除く領域に向いている 常温接合装置。

IPC (4件)：

H01L 21/02 ,  H05K 3/32 ,  B23K 20/00 ,  B23K 20/24

FI (4件)：

H01L21/02 B ,  H05K3/32 C ,  B23K20/00 310P ,  B23K20/24

Fターム (10件)：

4E067AA15 ,  4E067BA03 ,  4E067DA05 ,  4E067DB01 ,  4E067DC01 ,  4E067EA05 ,  4E067EB00 ,  5E319AC01 ,  5E319CC12 ,  5E319GG15

引用特許：

出願人引用 (4件)

• 特許2791429号公報
  
• 実装方法および装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-171731   出願人：須賀唯知, 東レエンジニアリング株式会社, 松下電器産業株式会社
• 実装方法および装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-248653   出願人：東レエンジニアリング株式会社, 須賀唯知
• 実装方法および装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-123780   出願人：東レエンジニアリング株式会社

審査官引用 (3件)

• 微小構造体の製造装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2004-111769   出願人：三菱重工業株式会社, 富士ゼロックス株式会社
• 常温接合方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-160606   出願人：三菱重工業株式会社
• 実装方法および装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-123780   出願人：東レエンジニアリング株式会社