特許
J-GLOBAL ID:200903021158386448
電子部品外観検査装置及び方法
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
渡辺 喜平
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平10-262058
公開番号(公開出願番号):特開2000-088543
出願日: 1998年09月16日
公開日(公表日): 2000年03月31日
要約:
【要約】【課題】 電子部品外観検査装置において、たとえば小型モールドICのような小型ICのリード部及びモールド部の画像をコントラスト良く取得し、検査性能を向上させる。【解決手段】 二つの異なる波長の照射光と着色された検査台を用い、一つの照射光(緑色)は検査台20aの色(赤色)に対し反射率が低く、検査台に載置されたリード部11からの十分に強い反射光により、コントラストの良いリード部11の画像を取得する。また、もう一つの照射光(赤色)は検査台20aの色(赤色)と同一の波長のため反射率が高くなり、コントラストの良いモールド部12の画像を取得する。照射角度、照度を変更することにより、表面の欠陥等の良好な画像を取得できる。よって、電子部品外観検査装置の検査性能を向上させることができる。
請求項(抜粋):
検査台に載置した電子部品に照明部から光を照射して、電子部品の外観検査を行なう装置において、前記照明部から特定の波長の照射光を照射するとともに、前記検査台の表面を前記照射光に対し反射率が低い色としたことを特徴とする電子部品外観検査装置。
IPC (2件):
FI (2件):
G01B 11/24 C
, G01N 21/88 645 B
Fターム (35件):
2F065AA49
, 2F065AA51
, 2F065BB05
, 2F065CC25
, 2F065CC27
, 2F065DD09
, 2F065FF04
, 2F065FF42
, 2F065GG07
, 2F065GG17
, 2F065GG22
, 2F065GG23
, 2F065HH12
, 2F065HH14
, 2F065HH18
, 2F065JJ03
, 2F065JJ05
, 2F065JJ09
, 2F065NN01
, 2F065PP11
, 2F065QQ25
, 2F065RR06
, 2F065RR08
, 2F065TT01
, 2F065TT02
, 2G051AA51
, 2G051AA61
, 2G051AA73
, 2G051AB14
, 2G051AB20
, 2G051BA04
, 2G051BA08
, 2G051BB01
, 2G051CB01
, 2G051EA16
引用特許: