電子部品の外観検査装置

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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：本庄武男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-163462
公開番号（公開出願番号）：特開平9-015167
出願日： 1995年06月29日
公開日（公表日）： 1997年01月17日
要約：

【要約】【目的】欠陥部分から露出する電子部品構成物を選択的に強調する手段を用いることにより微小な欠陥検出を可能にする電子部品の外観検査装置を提供する。【構成】電子部品5の検査対象面をその垂直方向から照明すると共にカメラ3で撮像する。更に,照明6もしくはカメラ3の光路上に電子部品構成物の反射分光特性に合わせた光学フィルタ2を配設する。樹脂モールドに欠陥があって露出する部分は電子部品構造物であって,これを選択的に強調する反射分光特性を有する光学フィルタ2を通すと,欠陥に伴う電子部品構造物の露出部分を強調して検出でき,撮像画像中からの欠陥の検出が確実になされる。

請求項（抜粋）：

電子部品構成物を樹脂モールドにより包含密封してなる電子部品の検査対象面を照明し,該電子部品の検査面をその垂直方向からカメラにより撮像し,撮像された濃淡画像から上記電子部品の上記樹脂モールドの欠陥を検出する電子部品の外観検査装置において,上記電子部品の検査対象面に垂直の方向から照明する落射照明と,上記カメラもしくは上記落射照明の光路上に配設され,上記電子部品構成物の反射分光特性に合わせた光学フィルタとを具備してなることを特徴とする電子部品の外観検査装置。

IPC (3件)：

G01N 21/88 , G06T 5/00 , H01L 21/66

FI (4件)：

G01N 21/88 Z , G01N 21/88 J , H01L 21/66 H , G06F 15/68 310 J

引用特許：

審査官引用 (14件)

特開平4-194736
特開平4-194736
特開平1-284743

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