特許

J-GLOBAL ID：200903021165565072

感光性ポリイミド前駆体組成物

発明者： アーマド・ナイーニ ,  ドナルド・ラーシコット ,  アンドルー・ジェイ・ローザ ,  ウィリアム・ディー・ウィーバー
出願人/特許権者： アーチ・スペシャルティ・ケミカルズ・インコーポレイテッド
代理人 (3件)： 高木 千嘉 ,  西村 公佑 ,  杉本 博司
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-507627
公開番号（公開出願番号）：特表2005-500561
出願日： 2001年06月28日
公開日（公表日）： 2005年01月06日
要約：

感光性ポリイミド前駆体組成物中に1H-テトラゾール、1,2-シクロヘキセンジアミン四酢酸水和物、及び5-メルカプトベンズイミダゾールから選択された金属抑制剤を含むことによる光化学架橋の抑制の減少。

請求項（抜粋）：

少なくとも一つのジアミン化合物と少なくとも一つのジエステル二酸塩化化合物の重縮合によって得られたポリアミド酸エステルポリマー; チタノセン光開始剤; 光架橋用添加剤; 1H-テトラゾール、1,2-シクロヘキサンジアミン四酢酸水和物、及び5-メルカプトベンズイミダゾールから選択される金属抑制剤; 重合抑制剤; 溶媒;並びに 少なくとも一つの光増感剤化合物、及び少なくとも一つの接着促進化合物からの任意の一つまたはそれ以上のもの からなる感光性ポリイミド前駆体組成物。

IPC (5件)：

G03F7/027 ,  C08G73/10 ,  G03F7/004 ,  G03F7/029 ,  G03F7/075

FI (5件)：

G03F7/027 514 ,  C08G73/10 ,  G03F7/004 501 ,  G03F7/029 ,  G03F7/075

Fターム (47件)：

2H025AB15 ,  2H025AB16 ,  2H025AC01 ,  2H025AD01 ,  2H025BC32 ,  2H025BC42 ,  2H025BC69 ,  2H025CA39 ,  2H025CC20 ,  2H025FA03 ,  2H025FA17 ,  2H025FA29 ,  4J043PA02 ,  4J043PB08 ,  4J043PC01 ,  4J043PC11 ,  4J043PC12 ,  4J043QB23 ,  4J043RA05 ,  4J043RA06 ,  4J043SA06 ,  4J043SB01 ,  4J043TA26 ,  4J043TB01 ,  4J043UA022 ,  4J043UA121 ,  4J043UA122 ,  4J043UA131 ,  4J043UA132 ,  4J043UA141 ,  4J043UA262 ,  4J043UA361 ,  4J043UB011 ,  4J043UB022 ,  4J043UB052 ,  4J043UB121 ,  4J043UB122 ,  4J043UB151 ,  4J043UB152 ,  4J043UB301 ,  4J043UB302 ,  4J043UB322 ,  4J043UB352 ,  4J043VA021 ,  4J043VA061 ,  4J043VA062 ,  4J043ZB22

引用特許：

審査官引用 (3件)

• ポリイミド系樹脂組成物
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-116336   出願人：日本ゼオン株式会社, 富士通株式会社
• 感光性ポリイミド前駆体組成物及びそれを用いたパターン製造法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-195944   出願人：日立化成工業株式会社
• i線照射によるレリーフ構造体の製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-124383   出願人：チバ-ガイギーアクチエンゲゼルシャフト, オーシージーミクロエレクトロニクスインコーポレーテッド