特許
J-GLOBAL ID：200903021184400238

反射性の改善された音響鏡

発明者：
ラルフ シュテマー

ラルフ シュテマー について


出願人/特許権者：
エプコス アクチエンゲゼルシャフト

エプコス アクチエンゲゼルシャフト について


代理人 (5件)： 矢野 敏雄 ,  山崎 利臣 ,  久野 琢也 ,  アインゼル・フェリックス=ラインハルト ,  ラインハルト・アインゼル
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-551898
公開番号（公開出願番号）：特表2005-512442
出願日： 2002年12月06日
公開日（公表日）： 2005年04月28日
要約：
λ/4層または3λ/4層から成る少なくとも1つの層対を有しており、各層対の第1の層は低い音響インピーダンスを有する材料から成り、第2の層は第1の層よりも高い音響インピーダンスを有する材料から成る、BAW共振器用またはスタックドクリスタルフィルタ用の音響鏡を提案する。本発明では、低い音響インピーダンスを有する第1の層の材料としてlow-k誘電体が選択される。
請求項（抜粋）：
λ/4層または3λ/4層から成る少なくとも1つの層対を有しており、各層対の第1の層(LK)は低い音響インピーダンスを有する材料から成り、第2の層(HZ)は第1の層よりも高い音響インピーダンスを有する材料から成る、 BAW共振器用またはスタックドクリスタルフィルタ用の音響鏡において、 低い音響インピーダンスを有する第1の層(LK)の材料としてlow-k誘電体が選択される ことを特徴とする音響鏡。
IPC (5件)：
H03H9/17 ,  H01L41/09 ,  H01L41/18 ,  H03H9/58 ,  H03H9/70
FI (7件)：
H03H9/17 F ,  H03H9/58 A ,  H03H9/70 ,  H01L41/08 U ,  H01L41/08 C ,  H01L41/08 L ,  H01L41/18 101Z
Fターム (6件)：
5J108AA07 ,  5J108BB07 ,  5J108BB08 ,  5J108CC11 ,  5J108FF05 ,  5J108KK01
引用特許：
審査官引用 (9件)
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