特許
J-GLOBAL ID:200903021290798950
ウェーブガイドおよび組成物
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
千田 稔 (外2名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2002-095177
公開番号(公開出願番号):特開2003-048984
出願日: 2002年03月29日
公開日(公表日): 2003年02月21日
要約:
【要約】 (修正有)【課題】シルセスキオキサンよりなる光ウエーブガイド用組成物を提供する。【解決手段】重合単位として式(RSiO1.5)(式中、Rは、ヒドロキシフェニルまたはヒドロキシベンジルから選択される)のモノマーを含むシルセスキオキサンオリゴマーで、光活性成分を含み、該シルセスキオキサンオリゴマーの溶解度が露光すると変わるフォトデイファイナブル組成物及び該フォトデイファイナブル組成物を用いた光ウエーブガイド及び光ウエーブガイドを含む電子デバイス。
請求項(抜粋):
重合単位として式(RSiO1.5)(式中、Rは、ヒドロキシフェニルまたはヒドロキシベンジルから選択される)のモノマーを含むシルセスキオキサンオリゴマー;および光活性成分を含み、該シルセスキオキサンオリゴマーの溶解度が化学線で露光すると変わるフォトディファイナブル組成物。
IPC (2件):
C08G 77/04
, G02B 6/00 391
FI (2件):
C08G 77/04
, G02B 6/00 391
Fターム (4件):
2H050AB42
, 4J035BA04
, 4J035CA161
, 4J035LB20
引用特許:
審査官引用 (6件)
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光導波路型偏光子
公報種別:公開公報
出願番号:特願平10-158224
出願人:日本電信電話株式会社
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ポリシロキサン化合物及びポジ型レジスト材料
公報種別:公開公報
出願番号:特願平7-270580
出願人:信越化学工業株式会社
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ポジ型レジスト材料
公報種別:公開公報
出願番号:特願平6-331722
出願人:信越化学工業株式会社, 日本電信電話株式会社
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特開平4-247406
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特開平3-006503
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光導波路
公報種別:公開公報
出願番号:特願平10-365922
出願人:京セラ株式会社
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