特許

J-GLOBAL ID：200903021310963154

ペリクルの収納構造

発明者： 金子 靖 ,  前原 和雄
出願人/特許権者： 旭化成電子株式会社
代理人 (1件)： 中川 周吉 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-208959
公開番号（公開出願番号）：特開平11-052553
出願日： 1997年08月04日
公開日（公表日）： 1999年02月26日
要約：

【要約】【課題】従来、ペリクルをトレイとフタとよりなるケースに収納し、かつこれ等のトレイとフタとを、ペリクルに接触させることによってペリクルを拘束し、この状態でペリクルを輸送した場合には、輸送時の振動や衝撃によってペリクルを擦って損傷したり、強い擦れによる塵が発生してペリクルに付着したりする問題があった。【解決手段】枠体1と、この枠体1の上縁面に接着されたペリクル膜2と、該枠体1の下端面に塗着した粘着材3と、該粘着材3を保護するために枠体1の下端面に粘着された保護フィルム4とからなるペリクルAを、トレイ5とフタ6とよりなるケースBに収納する構造に於いて、前記保護フィルム4と対応する枠型形状を有するゴム製押圧体9を接着材10を介してフタ6の内下面に固定して構成し、トレイ5の基台部5a上に載置されたペリクルAの保護フィルム4を該押圧体9で押圧するように構成したペリクルの収納構造である。

請求項（抜粋）：

枠体と、該枠体の上縁面に接着されたペリクル膜と、該枠体の下縁面に塗着した粘着材と、該粘着材を保護するために枠体の下縁面に粘着された保護フィルムからなるペリクルを、トレイとフタとよりなるケースに収納する構造に於いて、前記トレイとフタとの間に押圧体を介在させ、かつ該押圧体で前記ペリクルの保護フィルムを押圧してペリクルを前記ケースに固定させることを特徴としたペリクルの収納構造。

IPC (2件)：

G03F 1/14 ,  H01L 21/027

FI (3件)：

G03F 1/14 M ,  H01L 21/30 503 E ,  H01L 21/30 503 G

引用特許：

審査官引用 (2件)

• ペリクル容器
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-265809   出願人：株式会社ニコン
• ペリクルと、その収納ケース
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-197158   出願人：三井化学株式会社