特許
J-GLOBAL ID：200903021348180102
炭化ケイ素焼結体
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
中島 淳 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-348700
公開番号（公開出願番号）：特開2000-169246
出願日： 1998年12月08日
公開日（公表日）： 2000年06月20日
要約：
【要約】【課題】 高密度であり、且つ表面及び表面近傍に存在する有機及び無機不純物の少ない炭化ケイ素焼結体を提供すること。【解決手段】 炭化ケイ素焼結体の表面及び表面近傍に存在する不純物量が1.0×1011atom/cm2 未満であり、密度が2.9g/cm2 以上であることを特徴とする炭化ケイ素焼結体である。
請求項（抜粋）：
炭化ケイ素焼結体の表面及び表面近傍に存在する不純物量が1.0×1011atom/cm2 未満であり、密度が2.9g/cm2 以上であることを特徴とする炭化ケイ素焼結体。
IPC (2件)：
FI (2件)：
C04B 35/64 N
, C04B 35/64 M
