特許

J-GLOBAL ID：200903021382232529

可撓性フィルムの静電吸着装置および静電吸着方法

発明者： 小坂井 守 ,  石村 和典 ,  藤田 晃靖
出願人/特許権者： 住友大阪セメント株式会社
代理人 (1件)： 志賀 正武 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-223029
公開番号（公開出願番号）：特開2002-044971
出願日： 2000年07月24日
公開日（公表日）： 2002年02月08日
要約：

【要約】【課題】 煩雑な作業を必要とせず、真空中でも表面処理加工が可能であり、表面加工処理時に、可撓性フィルムに皺、変形、剥離が生じることがない、可撓性フィルムを静電吸着するための静電吸着装置および静電吸着方法を提供する。【解決手段】 正電極1と負電極2を絶縁性誘電体層5の表面上で交互に他方の電極を囲むように形成し、その最外端を同極性とし、両電極の間隔を絶縁性誘電体層4の厚みの1〜10倍とする。静電吸着面6の中心線平均粗さを0.5μm以下、体積固有抵抗値を108〜1012Ωcmとする。静電吸着用電極3の静電吸着面6側の面積を、可撓性フィルム20が静電吸着面6と接触している面積の10〜80%とし、静電吸着用電極3の最外端を可撓性フィルム20の最外周端よりも突出させ、その突出長を4mm以下とし、可撓性フィルム20を静電吸着した後、静電吸着電圧を低下させるか、または静電吸着電圧の印加を停止する。

請求項（抜粋）：

静電吸着用電極と、前記静電吸着用電極を被覆する絶縁性誘電体層と、前記静電吸着用電極に電圧を印加する給電用電極とを少なくとも備えた可撓性フィルムを静電吸着するための静電吸着装置であって、前記可撓性フィルムを載置する絶縁性誘電体層の吸着面の中心線平均粗さが0.5μm以下であることを特徴とする可撓性フィルムの静電吸着装置。

IPC (2件)：

H02N 13/00 ,  H01L 21/3065

FI (2件)：

H02N 13/00 D ,  H01L 21/302 B

Fターム (3件)：

5F004BB22 ,  5F004BB29 ,  5F004CA03

引用特許：

審査官引用 (5件)

• カメラ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-227295   出願人：京セラ株式会社
• 特公昭55-020830
  
• ウェハ保持部材及びその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-014492   出願人：京セラ株式会社
• 基板載置装置、及び真空処理装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-317031   出願人：日本真空技術株式会社
• 静電吸着装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-190317   出願人：新日本製鐵株式会社