特許

J-GLOBAL ID：200903032501454936

静電吸着装置

発明者： 向井 俊夫
出願人/特許権者： 新日本製鐵株式会社
代理人 (1件)： 岸田 正行 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-190317
公開番号（公開出願番号）：特開2000-021963
出願日： 1998年07月06日
公開日（公表日）： 2000年01月21日
要約：

【要約】【課題】 高吸着力を有する静電吸着装置を提供する。【解決手段】 本発明は、大気環境下で使用される静電吸着装置において、吸着面が108 〜1012Ωcmの体積固有抵抗を有する誘電体の一平面で構成され、被吸着体を吸着した状態において前記誘電体の吸着面の一部又は全部を真空減圧環境下に置く手段を有することを特徴とする静電吸着装置を提供する。本発明により、使用中の大気環境の変化によらず高い静電吸着力が得られる。

請求項（抜粋）：

大気環境下で使用される静電吸着装置において、吸着面が108 〜1012Ωcmの体積固有抵抗を有する誘電体の一平面で構成され、被吸着体を吸着した状態において前記誘電体の吸着面の一部又は全部を真空減圧環境下に置く手段を有することを特徴とする静電吸着装置。

IPC (6件)：

H01L 21/68 ,  B23Q 3/15 ,  B25J 15/06 ,  F16C 32/00 ,  F16C 32/06 ,  H01L 21/027

FI (6件)：

H01L 21/68 R ,  B23Q 3/15 D ,  B25J 15/06 S ,  F16C 32/00 ,  F16C 32/06 Z ,  H01L 21/30 503 C

Fターム (19件)：

3C016GA10 ,  3F061AA01 ,  3F061CA01 ,  3F061CB01 ,  3J102AA10 ,  3J102BA14 ,  3J102CA18 ,  3J102FA30 ,  3J102GA01 ,  3J102GA07 ,  5F031FF01 ,  5F031FF03 ,  5F031KK04 ,  5F031KK06 ,  5F031KK07 ,  5F031LL02 ,  5F046CC01 ,  5F046CC08 ,  5F046CC10

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 試料保持方法及び露光装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-289305   出願人：株式会社ニコン
• 静電吸着装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-048552   出願人：株式会社日立製作所
• 静電チャック
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-189217   出願人：京セラ株式会社
• 特開平2-067745