特許
J-GLOBAL ID:200903021457439752
基板ブレイク装置および基板ブレイク方法ならびに半導体装置
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
佐藤 隆久
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2005-058572
公開番号(公開出願番号):特開2006-245263
出願日: 2005年03月03日
公開日(公表日): 2006年09月14日
要約:
【課題】クラックの発生を防止して高精度に基板を切断する。【解決手段】スクライブライン105が形成された基板101へ向かう第1方向Z1へブレイクバー31を移動させて、基板101の切断位置をブレイクバー31で押圧して基板101を切断位置で切断する。この時、このブレイクバー31によって切断されるマザー基板101の切断を切断検知部61が検知する。その後、その切断検知部61により検知された基板101の切断の情報に基づいて、基板101が切断された時点に対応するように、基板101から離れる第2方向Z2へ第1方向Z1からブレイクバー31の移動方向を切替える。【選択図】図1
請求項(抜粋):
スクライブラインが切断位置に形成された基板を、前記切断位置にて切断する基板ブレイク装置であって、
前記基板を支持する基板支持台と、
前記基板の前記スクライブラインに沿って延在するように形成されており、前記基板支持台により支持された前記基板の前記切断位置を押圧することによって前記基板を切断するブレイクバーと、
前記基板支持台により支持された前記基板へ向かう第1方向と、前記基板支持台により支持された前記基板から離れる第2方向とに、前記ブレイクバーを移動するブレイクバー移動部と、
前記ブレイクバー移動部の移動動作を制御する移動制御部と、
前記移動制御部により制御された前記ブレイクバー移動部によって前記第1方向へ移動し前記切断位置を押圧する前記ブレイクバーにより前記切断位置にて切断される前記基板の切断を検知する切断検知部と
を有し、
前記移動制御部は、前記ブレイクバー移動部に前記ブレイクバーを前記第1方向へ移動させて前記基板を切断する際には、前記切断検知部により検知された前記基板の切断の情報に基づいて、前記基板が切断された時点に対応して前記第1方向から前記第2方向へ前記ブレイクバーの移動方向を切替えるように前記ブレイクバー移動部の移動動作を制御する
基板ブレイク装置。
IPC (3件):
H01L 21/301
, B26F 3/00
, G02F 1/13
FI (3件):
H01L21/78 T
, B26F3/00 A
, G02F1/13 101
Fターム (8件):
2H088FA07
, 2H088FA26
, 2H088FA30
, 2H088HA01
, 2H088HA08
, 2H088MA20
, 3C060AA08
, 3C060CB01
引用特許:
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