特許
J-GLOBAL ID:200903021460761649
光学式物理量測定方法および装置
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (4件):
三好 秀和
, 岩▲崎▼ 幸邦
, 川又 澄雄
, 高橋 俊一
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2004-209546
公開番号(公開出願番号):特開2006-029995
出願日: 2004年07月16日
公開日(公表日): 2006年02月02日
要約:
【課題】 簡単な構成で測定精度の高い光学式物理量測定装置とすることができる。【解決手段】 光源11からの光をスラント型グレーティング13で受光して波長が長くなるのに応じて傾斜波長範囲内で透過光強度が傾斜状に変化するようにし、スラント型グレーティング13からの光をブラッググレーティング15で受光して傾斜波長範囲内で所定波長幅の透過特性が1つある光を透過させ、ブラッググレーティング15からの光を受光部17で受光して受光強度に変換することで、ブラッググレーティング15に加わる物理量の変動を受光部17により受光強度に変換する。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
所定波長範囲で光を発光する光源と、
前記光源から受光した光の波長が長くなるのに応じて透過光強度が傾斜状に変化する傾斜波長範囲を有するスラント型グレーティングを用いた傾斜フィルタと、
前記傾斜フィルタの傾斜波長範囲内で所定波長幅の透過特性を1つ有するブラッググレーティングと、
前記傾斜波長範囲内で感度を有し、前記傾斜フィルタおよび前記ブラッググレーティングを透過した光を受光強度に変換する受光部とを備え、
前記ブラッググレーティングに加わる物理量の変動を前記受光部により受光強度に変換することを特徴とする光学式物理量測定装置。
IPC (3件):
G01D 5/353
, G01B 11/00
, G01K 11/12
FI (3件):
G01D5/26 D
, G01B11/00 G
, G01K11/12 F
Fターム (33件):
2F056VF02
, 2F056VF12
, 2F056VF16
, 2F065AA02
, 2F065AA06
, 2F065AA09
, 2F065BB12
, 2F065BB22
, 2F065CC23
, 2F065DD02
, 2F065DD04
, 2F065DD06
, 2F065DD11
, 2F065FF41
, 2F065FF46
, 2F065HH15
, 2F065JJ05
, 2F065LL02
, 2F065LL21
, 2F065LL24
, 2F065LL41
, 2F065LL46
, 2F065QQ03
, 2F065QQ26
, 2F065TT02
, 2F103BA01
, 2F103BA37
, 2F103BA43
, 2F103CA04
, 2F103CA06
, 2F103EC09
, 2F103EC16
, 2F103ED27
引用特許: