特許
J-GLOBAL ID：200903043596002923

ブラッググレーティング圧力センサ

発明者：
平山 紀友

平山 紀友 について

, 
佐野 安一

佐野 安一 について


出願人/特許権者：
富士電機株式会社

富士電機株式会社 について


代理人 (1件)： 篠部 正治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-345238
公開番号（公開出願番号）：特開2000-221085
出願日： 1998年12月04日
公開日（公表日）： 2000年08月11日
要約：
【要約】【課題】光源の光量の変動の影響の少ない、かつ、多点の圧力計測に適したBG圧力センサを提供する。【解決手段】BG圧力センサは、力を受け変位するセンシング部6(ダイアフラム61)と、このセンシング部6の変位箇所に設置される光導波路1の一部に形成された変位検出用BG3と、センシング部6の変位影響の少ない箇所で変位検出用BG3の近傍領域に設置される補償用BG4と、を備えて構成される。
請求項（抜粋）：
力を受け変位するセンシング部と、このセンシング部に設けられる光導波路と、この光導波路の一部に形成された変位検出用ブラッググレーティング(以下、BGと略称する)と、前記光導波路の一部で前記変位検出用BGの近傍に形成される補償用BGと、を備え、この補償用BGのブラッグ波長を測定して変位検出用BGの波長特性を補償する、ことを特徴とするブラッググレーティング圧力センサ。
IPC (4件)：
G01L 1/24 ,  G01B 11/16 ,  G01L 11/02 ,  G02B 6/122
FI (4件)：
G01L 1/24 A ,  G01B 11/16 Z ,  G01L 11/00 B ,  G02B 6/12 A
Fターム (21件)：
2F065AA65 ,  2F065DD00 ,  2F065EE01 ,  2F065FF41 ,  2F065LL02 ,  2F065LL42 ,  2F065UU03 ,  2F065UU07 ,  2H047KA04 ,  2H047KA05 ,  2H047KA12 ,  2H047LA03 ,  2H047PA22 ,  2H047PA24 ,  2H047PA28 ,  2H047PA30 ,  2H047QA04 ,  2H047QA05 ,  2H047QA07 ,  2H047RA00 ,  2H047TA00
引用特許：
審査官引用 (3件)
  • 光導波路型圧力センサ
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-174265   出願人：三菱重工業株式会社
  • 特表昭62-500052
  • 圧力センサ及び圧力測定装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-317213   出願人：古河電気工業株式会社, 財団法人河川情報センター

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