特許
J-GLOBAL ID：200903021465772533

位置決め用マークの検出方法および位置合わせ方法

発明者：
三宅 栄一

三宅 栄一 について


出願人/特許権者：
サンエー技研株式会社

サンエー技研株式会社 について


代理人 (1件)： 社本 一夫 (外5名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-268677
公開番号（公開出願番号）：特開2000-097674
出願日： 1998年09月22日
公開日（公表日）： 2000年04月07日
要約：
【要約】【課題】 カラーCCDカメラの最適の一色の出力信号のみのデータ処理により、位置決め用マークを正確に検出し、精度の高い位置合わせを行わせる。【解決手段】 第1および第2の平板上にそれぞれ円形の第1および第2の位置合わせマーク3、4を設ける。第1の位置合わせマーク3は、透明材料でできた第1の平板上の非透光性領域6に囲まれた透光性領域とする。第1および第2の平板を、互いに接触または接近させて位置づける。互いに重なった第1および第2の位置合わせマーク3,4を、カラーCCDカメラを用いて第1の位置合わせマーク3の側からそれぞれ読み取る。第1および第2の位置合わせマーク3,4に関する出力信号と第2の位置合わせマーク4の周囲の領域に関する出力信号との大きさの差Gを、カラーCCDカメラの各色の出力信号ごとに算出する。この差Gが最大となる色を選択する。選択された色に関する出力信号のみを用いて第1および第2の位置合わせマーク3,4の読み取りデータの処理を行う。
請求項（抜粋）：
平板上に形成された位置決め用マークを検出する方法において、前記位置決め用マークを円形マークとし、該円形マークの読み取りにカラーCCDカメラを使用し、前記位置決め用マークに関する出力信号と該位置決め用マークの周囲の領域に関する出力信号との大きさの差を、前記カラーCCDカメラの各色の出力信号ごとに算出し、この差が最大となる色を選択し、該選択された色に関する出力信号のみを用いて前記位置決め用マークの読み取りデータの処理を行うことを特徴とする、位置決め用マークの検出方法。
IPC (3件)：
G01B 11/24 ,  G03F 9/00 ,  G06T 7/00
FI (4件)：
G01B 11/24 K ,  G03F 9/00 Z ,  G06F 15/62 405 C ,  G06F 15/70 330 P
Fターム (24件)：
2F065AA03 ,  2F065BB28 ,  2F065CC01 ,  2F065FF04 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL26 ,  2F065LL46 ,  2H097KA03 ,  2H097KA12 ,  2H097KA13 ,  2H097KA15 ,  2H097KA20 ,  2H097LA09 ,  5B057AA03 ,  5B057BA12 ,  5B057DA07 ,  5B057DB06 ,  5B057DC02 ,  5L096AA02 ,  5L096CA14 ,  5L096FA69 ,  5L096GA40 ,  5L096JA09
引用特許：
審査官引用 (6件)
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