特許
J-GLOBAL ID：200903021484212255
光分割素子
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
山口 孝雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-337762
公開番号（公開出願番号）：特開平9-159807
出願日： 1995年12月01日
公開日（公表日）： 1997年06月20日
要約：
【要約】【課題】 1つの光学素子から構成され、諸収差のうち特にコマ収差および非点収差の双方を良好に補正することのできる平板状の光分割素子。【解決手段】 収れん光束または発散光束の光路中に傾けて配置され、入射光束を2つに分割する平板状の光分割素子において、平面状に形成され且つ入射光束の一部を反射するための反射平面と、該反射平面に対向して曲面状に形成された曲面とを備え、光分割素子を透過した収れん光束または発散光束の集光点において光分割素子に起因して発生する収差を、曲面の屈折作用により補正する。
請求項（抜粋）：
収れん光束または発散光束の光路中に傾けて配置され、入射光束を2つに分割する平板状の光分割素子において、平面状に形成され且つ入射光束の一部を反射するための反射平面と、該反射平面に対向して曲面状に形成された曲面とを備え、前記光分割素子を透過した前記収れん光束または前記発散光束の集光点において前記光分割素子に起因して発生する収差を、前記曲面の屈折作用により補正することを特徴とする光分割素子。
IPC (2件)：
FI (2件)：
引用特許：
審査官引用 (5件)
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特開平4-267201
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光路分割光学系
公報種別：公開公報
出願番号：特願平7-337761
出願人：株式会社ニコン
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特開昭61-278821
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