特許
J-GLOBAL ID：200903058840167333

高さを減じた基板キャリア

発明者：
エリオット, マーティン, アール

エリオット, マーティン, アール について

, 
ライス, マイケル, アール

ライス, マイケル, アール について


出願人/特許権者：
アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド

アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド について


代理人 (2件)： 長谷川 芳樹 ,  山田 行一
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-530419
公開番号（公開出願番号）：特表2008-512855
出願日： 2005年09月02日
公開日（公表日）： 2008年04月24日
要約：
1つ以上の基板を貯蔵するように適応された本体と、(1)本体の貯蔵領域内へ延長する1つ以上の結合特徴部又は(2)本体の横側に沿って延長する結合特徴部を有する底面とを含み、基板キャリアの全高さが結合特徴部の全高さによって増大されないようにした第1の基板キャリアが提供される。種々な他の態様が提供される。【選択図】 図3A
請求項（抜粋）：
1つ以上の基板を貯蔵するように適応された本体であって、基板を貯蔵するように適応された基板貯蔵領域を有する本体と、 上記基板貯蔵領域に配置される基板が占めるフットプリントの外側で上記基板貯蔵領域内へと延長するように適応された1つ以上の結合特徴部を有する底面と、 を備える基板キャリア。
IPC (2件)：
H01L 21/673 ,  B65D 85/86
FI (3件)：
H01L21/68 T ,  B65D85/38 K ,  B65D85/38 R
Fターム (23件)：
3E096AA01 ,  3E096AA06 ,  3E096BA16 ,  3E096BB04 ,  3E096CA02 ,  3E096CA08 ,  3E096CB02 ,  3E096CB03 ,  3E096DA11 ,  3E096DA30 ,  3E096FA14 ,  3E096FA29 ,  3E096GA14 ,  5F031CA02 ,  5F031DA08 ,  5F031DA17 ,  5F031EA19 ,  5F031EA20 ,  5F031FA01 ,  5F031FA07 ,  5F031GA06 ,  5F031KA20 ,  5F031PA30
引用特許：
審査官引用 (5件)
全件表示

前のページに戻る

TOP

BOTTOM