特許
J-GLOBAL ID：200903021506009343

基板への塗布液塗布装置

発明者：
馬場 隆幸

馬場 隆幸 について


出願人/特許権者：
大日本スクリーン製造株式会社

大日本スクリーン製造株式会社 について


代理人 (1件)： 間宮 武雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-247331
公開番号（公開出願番号）：特開平8-088165
出願日： 1994年09月14日
公開日（公表日）： 1996年04月02日
要約：
【要約】【目的】 塗布液の有効利用を図り、設置スペースを小さくし、塗布品質の向上を図り、基板の被塗布面の塗布始端近傍における非有効領域を可及的に少なくすることができる塗布装置を提供する。【構成】 基板10を保持するステージ12と、基板の被塗布面に塗布液を供給する塗布液槽14と、塗布液槽を基板に沿って下方へ直線移動させる手段とを備えて構成する。塗布液槽は、両端が閉塞され基板の幅方向に延在する筒状をなし、前面壁部16に、それを貫通する塗布液流出路18を形成し、前端面20が被塗布面に非接触でかつ近接するように配設される。基板の被塗布面と塗布液槽の前端面との間の隙間22に形成された液溜り44の上端の移動速度が実質的に一定となるように少なくとも塗布始端側において制御する手段を設ける。
請求項（抜粋）：
被塗布基板を鉛直姿勢又は傾斜した姿勢に保持する基板保持手段と、両端が閉塞され前記基板保持手段に保持された被塗布基板の幅方向に延在する筒状をなし、前面壁部にそれを貫通するように、多数の細管、多数の微小孔又はスリット状細溝ノズルからなる塗布液流出路が幅方向にわたって形成され、前記前面壁部の前端面が、基板保持手段に保持された被塗布基板の被塗布面に非接触でかつ近接するように水平方向に配設され、前面壁部の前端面と被塗布基板の被塗布面との間に隙間を保ったまま被塗布基板に対しその縦方向に相対的に移動自在に保持された塗布液槽と、この塗布液槽と前記基板保持手段に保持された被塗布基板とを相対的に直線的に移動させる直動手段とを備え、前記塗布液槽内に塗布液を注入したときに、前記基板保持手段に保持された被塗布基板の被塗布面と塗布液槽の前面壁部の前端面との間の隙間に、前記塗布液流出路を通って流出した塗布液の液溜りが形成され、その隙間における液溜りの塗布液が被塗布基板の被塗布面に塗布されて消費される量に応じ、塗布液槽内の塗布液が塗布液流出路を通って供給されるようにし、前記塗布液槽が前記基板保持手段に保持された被塗布基板に対し停止した状態から相対的移動を開始して、少なくとも塗布液槽と被塗布基板との相対移動速度が許容範囲に到達した時点以降において、被塗布基板の被塗布面と塗布液槽の前面壁部の前端面との間の隙間に形成された塗布液の液溜りの上端と被塗布基板との相対移動速度が実質的に一定となるように、少なくとも塗布始端側において制御する制御手段を設けた、基板への塗布液塗布装置。
IPC (4件)：
H01L 21/027 ,  B05C 5/00 101 ,  G02F 1/13 101 ,  G03F 7/16 501
引用特許：
出願人引用 (7件)
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