特許
J-GLOBAL ID：200903021609601283

偏光干渉計

発明者：
川田 勝

川田 勝 について


出願人/特許権者：
株式会社島津製作所

株式会社島津製作所 について


代理人 (1件)： 西岡 義明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-016169
公開番号（公開出願番号）：特開平10-213486
出願日： 1997年01月30日
公開日（公表日）： 1998年08月11日
要約：
【要約】【課題】 2波長の光源でも1波長の場合と同様に各々の波長を別々に最もコントラストの高い偏光方向に調整する手段を提供する。【解決手段】 本発明では、光源は2波長を発生するレーザーを用い、その直後に第1波長板HWP1と第2波長板HWP2を挿入する。λ1 の光を調整するときには、まず干渉計と光源の間の光路中にλ2 の光をカットし、λ1 の光を透過するフィルターF1 を挿入する。その上でHWP1を回転させ、干渉縞のコントラストが最大になるような方位に調整する。一方、λ2 の光を調整するときも同様に、λ1 の光をカットし、λ2 の光を透過するフィルターF2 を光路に挿入し、HWP2を回転させて干渉縞のコントラストを最大にする。なお、干渉計の中で用いられている偏光ビームスプリッターPBSは2波長λ1 、λ2 に対して使用できる設計にし、1/4波長板QWP1〜QWP3も2種類の異方性結晶を用いてλ1 、λ2 の2波長で90°の位相差を与える設計とする。
請求項（抜粋）：
入射光を振動方向が互いに直交する2つの直線偏光に分割し、一方を参照光、もう一方をサンプルを経た試料光とした後、再び合成し1/4波長板、偏光子の順に透過させることによって干渉縞を形成し、サンプルの2次元的な位相情報を取り出す偏光干渉計において、干渉計に入る前の入射光を2波長(λ1 、λ2 )の直線偏光とし、さらに光軸のまわりに回転可能で、波長λ1 で位相差が180°になり、波長λ2 で位相差が360°の整数倍になるような2種類の異方性結晶から構成される第1波長板HWP1と、波長λ1 で位相差が360°の整数倍になり、波長λ2 で位相差が180°になるような第2波長板HWP2を光源の直後に挿入することを特徴とする偏光干渉計。
IPC (3件)：
G01J 9/02 ,  G01B 9/02 ,  G01N 21/45
FI (3件)：
G01J 9/02 ,  G01B 9/02 ,  G01N 21/45 A
引用特許：
審査官引用 (3件)
  • 偏光干渉計
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-130822   出願人：株式会社島津製作所
  • 干渉縞による測定方法および装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-147477   出願人：富士写真光機株式会社
  • 位相板
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-137319   出願人：株式会社島津製作所

前のページに戻る

TOP

BOTTOM