特許

J-GLOBAL ID：200903021646338231

帯電粒子量評価装置および帯電粒子量評価方法

発明者： 山名 正人 ,  光武 義雄 ,  渡邉 純一 ,  浅野 幸康 ,  片山 弘典 ,  平田 勝弘 ,  山口 重行
出願人/特許権者： 松下電工株式会社
代理人 (2件)： 西川 惠清 ,  森 厚夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-125597
公開番号（公開出願番号）：特開2006-300837
出願日： 2005年04月22日
公開日（公表日）： 2006年11月02日
要約：

【課題】帯電粒子源から複数の粒径ピークを有する帯電粒子が放出される場合でも帯電粒子量を高い再現性で高精度に評価できる帯電粒子量評価装置および帯電粒子量評価方法を提供する。【解決手段】帯電粒子量評価装置1は、円筒状の内側導体2aと外側導体2bを同心に配置した同心円筒状電極2と、両導体2a,2b間の環状空間2cに軸方向に沿って気流を発生させる吸気ファン3と、両導体2a,2b間の印加電圧と両導体間に流れる電流値とから気流中の帯電粒子量を評価するコントローラ10とを備えるとともに、同心円筒状電極2の外部空間であって気流の上流側に配置されるフィルタ電極6と、フィルタ電極6により粒径が所定の閾値以下の帯電粒子を上記環状空間2c内に流入させないような電界を発生させるための電圧をフィルタ電極6に印加する電圧源7とを備えている。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

互いに半径が異なる円筒状の第1内側導体および第1外側導体を同心に配置して構成された第1の同心円筒状電極と、第1内側導体と第1外側導体との間の環状空間に軸方向に沿って気流を発生させる気流発生手段と、第1内側導体および第1外側導体にそれぞれ設けられ両導体間に直流電圧を印加するための第1の電圧印加端子と、第1内側導体および第1外側導体にそれぞれ設けられ両導体間に流れる電流を測定するための電流測定端子と、前記第1の同心円筒状電極の外部空間であって前記気流の上流側に配置され、当該フィルタ電極により粒径が所定の閾値以下の帯電粒子を前記環状空間に流入させないような電界を発生させるための電圧が印加される第2の電圧印加端子が設けられたフィルタ電極を備えて成ることを特徴とする帯電粒子量評価装置。

IPC (2件)：

G01N 27/60 ,  G01N 15/02

FI (2件)：

G01N27/60 C ,  G01N15/02 D

Fターム (3件)：

2G041BA02 ,  2G041BA15 ,  2G041BA19

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 微分型電気移動度測定器
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-099058   出願人：理化学研究所

審査官引用 (4件)

• 特開昭49-091295
  
• マイナスイオン発生装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-247136   出願人：ミドリ安全株式会社
• 粒径分布測定装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-094551   出願人：日本科学工業株式会社
• 超高真空測定方法及び超高真空用真空計
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-035636   出願人：日本真空技術株式会社