超高真空測定方法及び超高真空用真空計

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：北村欣一 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-035636
公開番号（公開出願番号）：特開平8-233677
出願日： 1995年02月23日
公開日（公表日）： 1996年09月13日
要約：

【要約】【目的】ESDイオンを除去して10-11 Pa程度以下の超高真空を正確に測定する方法及び超高真空用真空計を提案する【構成】イオン生成部2で生成したイオンをエネルギーフィルター3を介してイオン検出部4に導き、イオン数を検出する超高真空測定方法に於いて、該イオン生成部に大きな電位勾配を形成してそこで生成するイオンに初期エネルギー差以上に見掛け上のエネルギー差を与える。該イオン生成部を構成する筒形のグリッドの集電子電極5のイオン引出し側と反対側の端部5bを開放する。【効果】イオン検出部に導かれるイオンからESDイオンを分離することができ、気体イオンを正確にカウントできて気体分子の少ない超高真空を正確に計測できる

請求項（抜粋）：

イオン生成部とイオン検出部との間に該イオン生成部で生成した気体イオンとその他のイオンを分離するエネルギーフィルターを設け、該フィルターにより分離したイオンを該イオン検出部に導いてイオン数を検出するようにした超高真空測定方法に於いて、該イオン生成部に大きな電位勾配を形成してそこで生成する気体イオンとその他のイオンの間に初期エネルギー差以上に見掛け上のエネルギー差を与えたことを特徴とする超高真空測定方法。

引用特許：

審査官引用 (2件)

超高真空用真空計
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-194466 出願人：日本真空技術株式会社
超高真空用真空計
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-194458 出願人：日本真空技術株式会社

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