特許
J-GLOBAL ID：200903021702615219
フォトレジストパターニング被膜の硬膜処理剤および硬膜処理方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
本多 一郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-149752
公開番号（公開出願番号）：特開平6-337524
出願日： 1993年05月31日
公開日（公表日）： 1994年12月06日
要約：
【要約】【目的】 フォトレジストパターニング被膜の硬膜処理にこれまで使用されてきた毒性の強い高濃度のクロム含有硬膜処理剤に代わる無毒性の硬膜処理剤であって、しかもその耐水性および耐エッチング性の改善効果はクロム含有硬膜処理剤と同等かそれ以上である硬膜処理剤およびこの硬膜処理剤を用いた硬膜処理方法を提供することにある。【構成】 被蝕刻体上に形成された水溶性フォトレジスト塗膜に活性光により光像を露出し、露光されたこの塗膜を現像して得られるフォトレジストパターニング被膜を硬化させるための硬膜処理剤において、ジルコニウム含有化合物を有効成分とすることを特徴とする。
請求項（抜粋）：
被蝕刻体上に形成された水溶性フォトレジスト塗膜に活性光により光像を露出し、露光されたこの塗膜を現像して得られるフォトレジストパターニング被膜を硬化させるための硬膜処理剤において、ジルコニウム含有化合物を有効成分とすることを特徴とするフォトレジストパターニング被膜の硬膜処理剤。
IPC (3件)：
G03F 7/40 502
, G03F 7/40 501
, H01L 21/027
