特許
J-GLOBAL ID:200903021744918777

感熱性組成物および該組成物を使用したリソグラフィックプリンティングフォームの作製方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 青山 葆 (外2名)
公報種別:公表公報
出願番号(国際出願番号):特願平9-537850
公開番号(公開出願番号):特表平11-506550
出願日: 1997年04月22日
公開日(公表日): 1999年06月08日
要約:
【要約】現像剤不溶性フェノール樹脂および該フェノール樹脂と熱的に脆い錯体を形成する化合物の錯体をリソグラフィックベース上に塗布することが記載されている。しかし、この錯体がイメージ加熱されると、該錯体は崩壊し、錯体化されていないフェノール性樹脂は現像溶液に溶解する。このように、フェノール樹脂が錯体化されると、フェノール樹脂の加熱された領域と加熱されていない領域の溶解性の差が増大する。好ましくはレーザー吸収物質もリソグラフィックベース上に存在することである。フェノール樹脂と熱的に脆弱な錯体を形成する多くの化合物が確認されている。係る物質の例としてはキノリウム化合物、ベンゾチアゾリウム化合物、ピリジリウム化合物、およびイミダゾリン化合物がある。
請求項(抜粋):
水性現像剤可溶性ポリマー物質および該ポリマー物質の水性現像剤溶解性を減少させる化合物を含有する親油性、感熱性組成物であって、該組成物の水性現像剤溶解性が加熱により増加し、該組成物の水性現像剤溶解性が入射UV電磁線で増加しないことを特徴とする組成物。
IPC (7件):
G03F 7/004 501 ,  B41C 1/10 ,  B41N 1/14 ,  C08K 5/07 ,  C08K 5/16 ,  C08L101/00 ,  G03F 7/039 501
FI (7件):
G03F 7/004 501 ,  B41C 1/10 ,  B41N 1/14 ,  C08K 5/07 ,  C08K 5/16 ,  C08L101/00 ,  G03F 7/039 501
引用特許:
審査官引用 (23件)
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