特許
J-GLOBAL ID：200903021785444305

感放射線性樹脂組成物

発明者：
八子 由子

八子 由子 について

, 
中川 弘也

中川 弘也 について

, 
穂積 滋郎

穂積 滋郎 について


出願人/特許権者：
住友化学工業株式会社

住友化学工業株式会社 について


代理人 (1件)： 久保山 隆 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-147482
公開番号（公開出願番号）：特開2002-341521
出願日： 2001年05月17日
公開日（公表日）： 2002年11月27日
要約：
【要約】【課題】 可視光に対する透過率が高く、十分な耐溶剤性を有する透明膜を形成し得る感放射線性樹脂組成物を提供する。【解決手段】 本発明の感放射線性樹脂組成物は、カルボキシル基を有しエポキシ基のない高分子化合物(A)、キノンジアジド基含有化合物(B)、キノンジアジド基のない多価フェノール化合物(C)および架橋剤(D)を含有する。高分子化合物(A)の含有量は放射線性樹脂組成物の固形分に対して質量分率で通常5〜90%であり、キノンジアジド化合物の含有量は固形分に対して質量分率で通常2〜30%であり、多価フェノール化合物(C)の含有量は固形分に対して質量分率で通常0.1〜10%であり、架橋剤(D)の含有量は固形分に対して質量分率で通常1〜30%である。この感放射線性樹脂組成物からなる層(1)を基板(2)の上に形成し、該層(1)を露光したのち現像してパターンを形成して、透明膜(5)を得る。
請求項（抜粋）：
カルボキシル基を有しエポキシ基のない高分子化合物(A)、キノンジアジド化合物(B)、キノンジアジド基を有しない多価フェノール化合物(C)および架橋剤(D)を含有する感放射線性樹脂組成物。
IPC (8件)：
G03F 7/004 501 ,  C08K 5/00 ,  C08K 5/13 ,  C08K 5/28 ,  C08L101/08 ,  G03F 7/022 ,  G03F 7/40 501 ,  H01L 21/027
FI (8件)：
G03F 7/004 501 ,  C08K 5/00 ,  C08K 5/13 ,  C08K 5/28 ,  C08L101/08 ,  G03F 7/022 ,  G03F 7/40 501 ,  H01L 21/30 502 R
Fターム (49件)：
2H025AA01 ,  2H025AA06 ,  2H025AB16 ,  2H025AB17 ,  2H025AC01 ,  2H025AD03 ,  2H025BE01 ,  2H025CB13 ,  2H025CB43 ,  2H025CC17 ,  2H025CC20 ,  2H025FA17 ,  2H025FA29 ,  2H025FA30 ,  2H096AA25 ,  2H096AA28 ,  2H096BA10 ,  2H096EA02 ,  2H096GA08 ,  2H096HA01 ,  2H096HA03 ,  4J002BC041 ,  4J002BC081 ,  4J002BC091 ,  4J002BF011 ,  4J002BF021 ,  4J002BG011 ,  4J002BG041 ,  4J002BG051 ,  4J002BG061 ,  4J002BG071 ,  4J002BG101 ,  4J002BH021 ,  4J002CC042 ,  4J002CC052 ,  4J002CC163 ,  4J002CC183 ,  4J002CD013 ,  4J002CD023 ,  4J002CD043 ,  4J002CD063 ,  4J002EJ017 ,  4J002EJ027 ,  4J002EL028 ,  4J002EQ036 ,  4J002EV246 ,  4J002EV286 ,  4J002FD143 ,  4J002FD148
引用特許：
審査官引用 (8件)
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